Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge
На модельных образцах нейтронно-легированного Се испытана оригинальная методика отжига полупроводников в условиях воздействия ультразвука.
Збережено в:
| Дата: | 2004 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2004
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/54421 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge / Я.М. Олих, И.А. Лисюк, Н.Д. Тимочко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 3. — С. 10-13. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-54421 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-544212014-02-02T03:15:26Z Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge Олих, Я.М. Лисюк, И.А. Тимочко, Н.Д. Материалы для микроэлектроники На модельных образцах нейтронно-легированного Се испытана оригинальная методика отжига полупроводников в условиях воздействия ультразвука. 2004 Article Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge / Я.М. Олих, И.А. Лисюк, Н.Д. Тимочко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 3. — С. 10-13. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/54421 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Материалы для микроэлектроники Материалы для микроэлектроники |
| spellingShingle |
Материалы для микроэлектроники Материалы для микроэлектроники Олих, Я.М. Лисюк, И.А. Тимочко, Н.Д. Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
На модельных образцах нейтронно-легированного Се испытана оригинальная методика отжига полупроводников в условиях воздействия ультразвука. |
| format |
Article |
| author |
Олих, Я.М. Лисюк, И.А. Тимочко, Н.Д. |
| author_facet |
Олих, Я.М. Лисюк, И.А. Тимочко, Н.Д. |
| author_sort |
Олих, Я.М. |
| title |
Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge |
| title_short |
Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge |
| title_full |
Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge |
| title_fullStr |
Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge |
| title_full_unstemmed |
Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge |
| title_sort |
акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах ge |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2004 |
| topic_facet |
Материалы для микроэлектроники |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/54421 |
| citation_txt |
Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge / Я.М. Олих, И.А. Лисюк, Н.Д. Тимочко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 3. — С. 10-13. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT olihâm akustostimulirovannoeponiženietemperaturyotžigaradiacionnyhdefektovvkristallahge AT lisûkia akustostimulirovannoeponiženietemperaturyotžigaradiacionnyhdefektovvkristallahge AT timočkond akustostimulirovannoeponiženietemperaturyotžigaradiacionnyhdefektovvkristallahge |
| first_indexed |
2023-10-18T18:22:57Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:22:57Z |
| _version_ |
1796144060326477824 |