Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge

• Дата: 2004
• Автори: Олих, Я.М., Лисюк, И.А., Тимочко, Н.Д.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2004
• Назва видання: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Теми: Материалы для микроэлектроники
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/54421
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge / Я.М. Олих, И.А. Лисюк, Н.Д. Тимочко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 3. — С. 10-13. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.

На модельных образцах нейтронно-легированного Се испытана оригинальная методика отжига полупроводников в условиях воздействия ультразвука.