Особливості ефекту далекодії в кремнії при імплантації ядер водню та гелію
У монокристалах кремнiю при iмплантацiї ядер водню (протонiв) з енергiєю E = 6; 8 МеВ (Φ = 1 - 3 х 10¹⁷ см⁻²), E = 43 МеВ (Φ = 1 х 10¹⁷ см⁻²), E = 50 МеВ (Φ = 5 х 10¹⁶ см⁻²) i ядер гелiю (альфа-частинок) з енергiєю E = 27; 2 МеВ, (Φ = 1 х 10¹⁷ см⁻²) виявлено радiацiйний вплив та поширення перiодично...
Збережено в:
| Дата: | 2010 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Відділення фізики і астрономії НАН України
2010
|
| Назва видання: | Український фізичний журнал |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/56219 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Особливості ефекту далекодії в кремнії при імплантації ядер водню та гелію / А.А. Гроза, П.Г. Литовченко, М.І. Старчик, В.І. Хіврич, Г.Г. Шматко // Український фізичний журнал. — 2010. — Т. 55, № 6. — С. 699-705. — Бібліогр.: 17 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-56219 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-562192014-02-15T03:12:23Z Особливості ефекту далекодії в кремнії при імплантації ядер водню та гелію Гроза, А.А. Литовченко, П.Г. Старчик, М.І. Хіврич, В.І. Шматко, Г.Г. Тверде тіло У монокристалах кремнiю при iмплантацiї ядер водню (протонiв) з енергiєю E = 6; 8 МеВ (Φ = 1 - 3 х 10¹⁷ см⁻²), E = 43 МеВ (Φ = 1 х 10¹⁷ см⁻²), E = 50 МеВ (Φ = 5 х 10¹⁶ см⁻²) i ядер гелiю (альфа-частинок) з енергiєю E = 27; 2 МеВ, (Φ = 1 х 10¹⁷ см⁻²) виявлено радiацiйний вплив та поширення перiодичної дефектної структури в запробiжну для iонiв частину зразкiв (“ефекти далекодiї”), якi не передбаченi iснуючою теорiєю iонної iмплантацiї. Радiацiйний вплив опромiнення протонами на прискорене утворення термодефектiв у прошарках росту кристалiв кремнiю в запробiжнiй частинi зразкiв є бiльш iнтенсивним i спостерiгається при температурi вiдпалювання на 50 °C нижчiй, нiж у пробiжнiй. При опромiненнi альфа-частинками виявлено утворення перiодичної дефектної структури у виглядi “стiнок” дефектiв перпендикулярних до напрямку руху iонного пучка, яка спостерiгається як до, так i за областю гальмування iонiв. Формування перiодичної дефектної структури пов’язуємо з процесом самоорганiзацiї радiацiйних дефектiв, а поширення радiацiйного впливу в запробiжну для iонiв частину кристала – з можливою реалiзацiєю солiтонного механiзму. Radiation effects in silicon single crystals irradiated with protons of the energies E = 6:8, 43, and 50 MeV at the fluences Φ = (1-3) х 10¹⁷, 1 х 10¹⁷, and 5 х 10¹⁶ cm⁻², respectively, and with alpha-particles of the energy E = 27:2 MeV at the fluence Φ = 1 х 10¹⁷ cm⁻² have been studied. The extension of a periodic defect structure into the region located behind the ion stopping range has been revealed (“long-range effects”), which cannot be explained in the framework of the available ion implantation theory. The effect of the proton radiation on an increase of the thermal defect generation in crystal growth layers located in this region is found to be more intensive and to occur at a temperature by 50° lower than that in the proton free-path region. In the case of the irradiation with alpha particles, the formation of a defect structure in the form of defect walls oriented perpendicularly to the ion beam and extending over the ion stopping range and behind it was detected. We associate the formation of a periodic defect structure with the self-organization of radiation-induced defects, and the extension of the radiation effect into the region behind the ion stopping range with a probable implementation of the soliton mechanism of propagation. В монокристаллах кремния при имплантации ядер водорода с энергией E = 6; 8 МэВ (Φ = 1 - 3 х 10¹⁷ см⁻²), E = 43 МеВ (Φ = 1 х 10¹⁷ см⁻²), E = 50 МэВ (Φ = 5 х 10¹⁶ см⁻²) и ядер гелия с энергией E = 27; 2 МэВ (Φ = 1 х 10¹⁷ см⁻²) обнаружено радиационное воздействие за областью торможения ионов (“эффекты дальнодействия”), что не объясняется существующей теорией ионной имплантации. Во всей этой области в cлоях роста кристалла после термообработки наблюдалось ускоренное образование термодефектов при температуре на 50 °C более низкой, чем в области пробега ядер водорода. При облучении ядрами гелия (альфа-частицами) обнаружено образование периодической дефектной структуры в виде стенок дефектов перпендикулярных направлению движения ионного пучка, которая распространялась вглубь образцов как до, так и за область торможения ионов. Образование периодической дефектной структуры связывается с процессом самоорганизации, а распространение радиационного воздействия – с солитонным механизмом. 2010 Article Особливості ефекту далекодії в кремнії при імплантації ядер водню та гелію / А.А. Гроза, П.Г. Литовченко, М.І. Старчик, В.І. Хіврич, Г.Г. Шматко // Український фізичний журнал. — 2010. — Т. 55, № 6. — С. 699-705. — Бібліогр.: 17 назв. — укр. 2071-0194 PACS 60 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/56219 621.315.592 uk Український фізичний журнал Відділення фізики і астрономії НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| topic |
Тверде тіло Тверде тіло |
| spellingShingle |
Тверде тіло Тверде тіло Гроза, А.А. Литовченко, П.Г. Старчик, М.І. Хіврич, В.І. Шматко, Г.Г. Особливості ефекту далекодії в кремнії при імплантації ядер водню та гелію Український фізичний журнал |
| description |
У монокристалах кремнiю при iмплантацiї ядер водню (протонiв) з енергiєю E = 6; 8 МеВ (Φ = 1 - 3 х 10¹⁷ см⁻²), E = 43 МеВ (Φ = 1 х 10¹⁷ см⁻²), E = 50 МеВ (Φ = 5 х 10¹⁶ см⁻²) i ядер гелiю (альфа-частинок) з енергiєю E = 27; 2 МеВ, (Φ = 1 х 10¹⁷ см⁻²) виявлено радiацiйний вплив та поширення перiодичної дефектної структури в запробiжну для iонiв частину зразкiв (“ефекти далекодiї”), якi не передбаченi iснуючою теорiєю iонної iмплантацiї. Радiацiйний вплив опромiнення протонами на прискорене утворення термодефектiв у прошарках росту кристалiв кремнiю в запробiжнiй частинi зразкiв є бiльш iнтенсивним i спостерiгається при температурi вiдпалювання на 50 °C нижчiй, нiж у пробiжнiй. При опромiненнi альфа-частинками виявлено утворення перiодичної дефектної структури у виглядi “стiнок” дефектiв перпендикулярних до напрямку руху iонного пучка, яка спостерiгається як до, так i за областю гальмування iонiв. Формування перiодичної дефектної структури пов’язуємо з процесом самоорганiзацiї радiацiйних дефектiв, а поширення радiацiйного впливу в запробiжну для iонiв частину кристала – з можливою реалiзацiєю солiтонного механiзму. |
| format |
Article |
| author |
Гроза, А.А. Литовченко, П.Г. Старчик, М.І. Хіврич, В.І. Шматко, Г.Г. |
| author_facet |
Гроза, А.А. Литовченко, П.Г. Старчик, М.І. Хіврич, В.І. Шматко, Г.Г. |
| author_sort |
Гроза, А.А. |
| title |
Особливості ефекту далекодії в кремнії при імплантації ядер водню та гелію |
| title_short |
Особливості ефекту далекодії в кремнії при імплантації ядер водню та гелію |
| title_full |
Особливості ефекту далекодії в кремнії при імплантації ядер водню та гелію |
| title_fullStr |
Особливості ефекту далекодії в кремнії при імплантації ядер водню та гелію |
| title_full_unstemmed |
Особливості ефекту далекодії в кремнії при імплантації ядер водню та гелію |
| title_sort |
особливості ефекту далекодії в кремнії при імплантації ядер водню та гелію |
| publisher |
Відділення фізики і астрономії НАН України |
| publishDate |
2010 |
| topic_facet |
Тверде тіло |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/56219 |
| citation_txt |
Особливості ефекту далекодії в кремнії при імплантації ядер водню та гелію / А.А. Гроза, П.Г. Литовченко, М.І. Старчик, В.І. Хіврич, Г.Г. Шматко // Український фізичний журнал. — 2010. — Т. 55, № 6. — С. 699-705. — Бібліогр.: 17 назв. — укр. |
| series |
Український фізичний журнал |
| work_keys_str_mv |
AT grozaaa osoblivostíefektudalekodíívkremníípriímplantacííâdervodnûtagelíû AT litovčenkopg osoblivostíefektudalekodíívkremníípriímplantacííâdervodnûtagelíû AT starčikmí osoblivostíefektudalekodíívkremníípriímplantacííâdervodnûtagelíû AT hívričví osoblivostíefektudalekodíívkremníípriímplantacííâdervodnûtagelíû AT šmatkogg osoblivostíefektudalekodíívkremníípriímplantacííâdervodnûtagelíû |
| first_indexed |
2023-10-18T18:27:10Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:27:10Z |
| _version_ |
1796144250454278144 |