Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона
Предложена компенсация погрешностей конструктивных параметров тонкопленочных элементов путем изменения размеров элементов фотошаблона по определенным алгоритмам....
Збережено в:
| Дата: | 2004 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2004
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/56230 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 9-11. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-56230 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-562302014-02-15T03:13:21Z Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона Спирин, В.Г. Проектирование. Конструирование Предложена компенсация погрешностей конструктивных параметров тонкопленочных элементов путем изменения размеров элементов фотошаблона по определенным алгоритмам. 2004 Article Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 9-11. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/56230 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Проектирование. Конструирование Проектирование. Конструирование |
| spellingShingle |
Проектирование. Конструирование Проектирование. Конструирование Спирин, В.Г. Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Предложена компенсация погрешностей конструктивных параметров тонкопленочных элементов путем изменения размеров элементов фотошаблона по определенным алгоритмам. |
| format |
Article |
| author |
Спирин, В.Г. |
| author_facet |
Спирин, В.Г. |
| author_sort |
Спирин, В.Г. |
| title |
Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона |
| title_short |
Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона |
| title_full |
Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона |
| title_fullStr |
Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона |
| title_full_unstemmed |
Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона |
| title_sort |
компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2004 |
| topic_facet |
Проектирование. Конструирование |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/56230 |
| citation_txt |
Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 9-11. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT spirinvg kompensaciâsistematičeskihpogrešnostejtonkoplenočnyhélementovčerezélementyfotošablona |
| first_indexed |
2023-10-18T18:27:12Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:27:12Z |
| _version_ |
1796144251624488960 |