Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона
Предложена компенсация погрешностей конструктивных параметров тонкопленочных элементов путем изменения размеров элементов фотошаблона по определенным алгоритмам....
Збережено в:
Видавець: | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
---|---|
Дата: | 2004 |
Автор: | Спирин, В.Г. |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2004
|
Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/56230 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Цитувати: | Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 9-11. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
-
Метод проектирования топологии тонкопленочной микросборки с размерами пленочных элементов 10-50 мкм
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2004) -
Расчет тонкопленочных транзисторов с затвором Шоттки на основе аморфного полупроводника
за авторством: Мамедов, А.К.
Опубліковано: (2003) -
Математические модели сопротивления тонкопленочного резистора с размерами 50 мкм
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2004) -
Метод компоновки плат микросборки
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2004) -
Реализация элементов быстродействующего цифрового фильтра на ПЛИС
за авторством: Малахов, В.П., та інші
Опубліковано: (2004)