2025-02-23T03:49:36-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-56321%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T03:49:36-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-56321%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T03:49:36-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T03:49:36-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев
На основе разработанной авторами модели массопереноса предложен новый метод эпитаксии толстых слоев. Метод предусматривает рост различных частей слоев в двухслойных системах, получаемых из раствора-расплава, и позволяет контролировать толщину подплавления подложек и толщину слоев, полученных на верх...
Saved in:
Main Authors: | , , |
---|---|
Format: | Article |
Language: | Russian |
Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2013
|
Series: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
Subjects: | |
Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/56321 |
Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
id |
irk-123456789-56321 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-563212014-02-16T03:14:53Z Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев Дранчук, С.Н. Завадский, В.А. Мокрицкий, В.А. Материалы электроники На основе разработанной авторами модели массопереноса предложен новый метод эпитаксии толстых слоев. Метод предусматривает рост различных частей слоев в двухслойных системах, получаемых из раствора-расплава, и позволяет контролировать толщину подплавления подложек и толщину слоев, полученных на верхней и нижней подложках, с учетом различия механизмов переноса кристаллизуемого вещества. На основі розробленої авторами моделі масопереносу запропоновано новий метод епітаксії товстих шарів. Метод передбачає вирощування різних частин шарів в двошарових системах, одержуваних з розчину-розплаву, і дозволяє контролювати товщину підплавлення підкладок і товщину шарів, отриманих на верхній та нижній підкладках з урахуванням відмінностей механізмів перенесення речовини, що кристалізується. On the basis of the authors' model of mass transfer, a new method for thick layers epitaxy has been developed. The method provides for the growth of different parts of the layers in two-layer systems obtained from the solution-melt and allows to control the thickness of substrate submelting and the thickness of layers obtained at the upper and lower substrates, in consideration of different crystallized substance transport mechanisms. 2013 Article Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев / С.Н. Дранчук, В.А. Завадский, В.А. Мокрицкий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 2-3. — С. 58-60. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/56321 621.362:621.383 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
Russian |
topic |
Материалы электроники Материалы электроники |
spellingShingle |
Материалы электроники Материалы электроники Дранчук, С.Н. Завадский, В.А. Мокрицкий, В.А. Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
description |
На основе разработанной авторами модели массопереноса предложен новый метод эпитаксии толстых слоев. Метод предусматривает рост различных частей слоев в двухслойных системах, получаемых из раствора-расплава, и позволяет контролировать толщину подплавления подложек и толщину слоев, полученных на верхней и нижней подложках, с учетом различия механизмов переноса кристаллизуемого вещества. |
format |
Article |
author |
Дранчук, С.Н. Завадский, В.А. Мокрицкий, В.А. |
author_facet |
Дранчук, С.Н. Завадский, В.А. Мокрицкий, В.А. |
author_sort |
Дранчук, С.Н. |
title |
Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев |
title_short |
Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев |
title_full |
Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев |
title_fullStr |
Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев |
title_full_unstemmed |
Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев |
title_sort |
метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев |
publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
publishDate |
2013 |
topic_facet |
Материалы электроники |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/56321 |
citation_txt |
Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев / С.Н. Дранчук, В.А. Завадский, В.А. Мокрицкий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 2-3. — С. 58-60. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
work_keys_str_mv |
AT drančuksn metodžidkofaznojépitaksiitolstyhsloev AT zavadskijva metodžidkofaznojépitaksiitolstyhsloev AT mokrickijva metodžidkofaznojépitaksiitolstyhsloev |
first_indexed |
2023-10-18T18:27:24Z |
last_indexed |
2023-10-18T18:27:24Z |
_version_ |
1796144260853006336 |