Влияние скорости роста CVD-алмаза из метан водородной смеси в СВЧ Разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (ГАКТМ)
В настоящей работе представлены результаты по эмиссионно-спектроскопическим исследованиям СВЧ плазмы в процессе газофазового роста CVD алмаза при осаждении поликристаллических алмазных пластин на кремниевых подложках, а также по исследованию морфологических особенностей получаемых из них армирующих...
Збережено в:
| Дата: | 2011 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2011
|
| Назва видання: | Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/63251 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние скорости роста CVD-алмаза из метан водородной смеси в СВЧ Разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (ГАКТМ) / Е.Е. Ашкинази, А.А. Шульженко, В.Г. Ральченко, А.П. Большаков, В.И. Конов, А.Н. Соколов, В.Г. Гаргин // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2011. — Вип. 14. — С. 288-292. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-63251 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-632512014-06-01T03:02:36Z Влияние скорости роста CVD-алмаза из метан водородной смеси в СВЧ Разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (ГАКТМ) Ашкинази, Е.Е. Шульженко, А.А. Ральченко, В.Г. Большаков, А.П. Конов, В.И. Соколов, А.Н. Гаргин, В.Г. Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора В настоящей работе представлены результаты по эмиссионно-спектроскопическим исследованиям СВЧ плазмы в процессе газофазового роста CVD алмаза при осаждении поликристаллических алмазных пластин на кремниевых подложках, а также по исследованию морфологических особенностей получаемых из них армирующих вставок ГАКТМ. У даній роботі представлені результати по емісійно-спектроскопическим дослідженням СВЧ плазми в процесі газофазового вирощування CVD алмазу при осадженні полікристалічних алмазних пластин на кремнієвих підкладках, а також результати з дослідження морфологічних особливостей одержуваних з них армуючих вставок ГАКТМ. This paper presents the results of the emission-spectroscopic studies of microwave plasma CVD process of diamond growth gazofazovogo the deposition of polycrystalline diamond plates on silicon substrates, as well as to study the morphological features of diamond inserts for a hybrid composite material. 2011 Article Влияние скорости роста CVD-алмаза из метан водородной смеси в СВЧ Разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (ГАКТМ) / Е.Е. Ашкинази, А.А. Шульженко, В.Г. Ральченко, А.П. Большаков, В.И. Конов, А.Н. Соколов, В.Г. Гаргин // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2011. — Вип. 14. — С. 288-292. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 2223-3938 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/63251 621.921.34:621.921.34 ru Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора |
| spellingShingle |
Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора Ашкинази, Е.Е. Шульженко, А.А. Ральченко, В.Г. Большаков, А.П. Конов, В.И. Соколов, А.Н. Гаргин, В.Г. Влияние скорости роста CVD-алмаза из метан водородной смеси в СВЧ Разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (ГАКТМ) Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения |
| description |
В настоящей работе представлены результаты по эмиссионно-спектроскопическим исследованиям СВЧ плазмы в процессе газофазового роста CVD алмаза при осаждении поликристаллических алмазных пластин на кремниевых подложках, а также по исследованию морфологических особенностей получаемых из них армирующих вставок ГАКТМ. |
| format |
Article |
| author |
Ашкинази, Е.Е. Шульженко, А.А. Ральченко, В.Г. Большаков, А.П. Конов, В.И. Соколов, А.Н. Гаргин, В.Г. |
| author_facet |
Ашкинази, Е.Е. Шульженко, А.А. Ральченко, В.Г. Большаков, А.П. Конов, В.И. Соколов, А.Н. Гаргин, В.Г. |
| author_sort |
Ашкинази, Е.Е. |
| title |
Влияние скорости роста CVD-алмаза из метан водородной смеси в СВЧ Разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (ГАКТМ) |
| title_short |
Влияние скорости роста CVD-алмаза из метан водородной смеси в СВЧ Разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (ГАКТМ) |
| title_full |
Влияние скорости роста CVD-алмаза из метан водородной смеси в СВЧ Разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (ГАКТМ) |
| title_fullStr |
Влияние скорости роста CVD-алмаза из метан водородной смеси в СВЧ Разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (ГАКТМ) |
| title_full_unstemmed |
Влияние скорости роста CVD-алмаза из метан водородной смеси в СВЧ Разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (ГАКТМ) |
| title_sort |
влияние скорости роста cvd-алмаза из метан водородной смеси в свч разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (гактм) |
| publisher |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| publishDate |
2011 |
| topic_facet |
Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/63251 |
| citation_txt |
Влияние скорости роста CVD-алмаза из метан водородной смеси в СВЧ Разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (ГАКТМ) / Е.Е. Ашкинази, А.А. Шульженко, В.Г. Ральченко, А.П. Большаков, В.И. Конов, А.Н. Соколов, В.Г. Гаргин // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2011. — Вип. 14. — С. 288-292. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
| series |
Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения |
| work_keys_str_mv |
AT aškinaziee vliânieskorostirostacvdalmazaizmetanvodorodnojsmesivsvčrazrâdenasvojstvaarmiruûŝejkomponentygibridnogoalmaznogokompozicionnogomaterialagaktm AT šulʹženkoaa vliânieskorostirostacvdalmazaizmetanvodorodnojsmesivsvčrazrâdenasvojstvaarmiruûŝejkomponentygibridnogoalmaznogokompozicionnogomaterialagaktm AT ralʹčenkovg vliânieskorostirostacvdalmazaizmetanvodorodnojsmesivsvčrazrâdenasvojstvaarmiruûŝejkomponentygibridnogoalmaznogokompozicionnogomaterialagaktm AT bolʹšakovap vliânieskorostirostacvdalmazaizmetanvodorodnojsmesivsvčrazrâdenasvojstvaarmiruûŝejkomponentygibridnogoalmaznogokompozicionnogomaterialagaktm AT konovvi vliânieskorostirostacvdalmazaizmetanvodorodnojsmesivsvčrazrâdenasvojstvaarmiruûŝejkomponentygibridnogoalmaznogokompozicionnogomaterialagaktm AT sokolovan vliânieskorostirostacvdalmazaizmetanvodorodnojsmesivsvčrazrâdenasvojstvaarmiruûŝejkomponentygibridnogoalmaznogokompozicionnogomaterialagaktm AT garginvg vliânieskorostirostacvdalmazaizmetanvodorodnojsmesivsvčrazrâdenasvojstvaarmiruûŝejkomponentygibridnogoalmaznogokompozicionnogomaterialagaktm |
| first_indexed |
2023-10-18T18:43:02Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:43:02Z |
| _version_ |
1796144966931578880 |