Влияние скорости роста CVD-алмаза из метан водородной смеси в СВЧ Разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (ГАКТМ)

• Datum: 2011
• Hauptverfasser: Ашкинази, Е.Е., Шульженко, А.А., Ральченко, В.Г., Большаков, А.П., Конов, В.И., Соколов, А.Н., Гаргин, В.Г.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2011
• Schriftenreihe: Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения
• Schlagworte: Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/63251
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Влияние скорости роста CVD-алмаза из метан водородной смеси в СВЧ Разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (ГАКТМ) / Е.Е. Ашкинази, А.А. Шульженко, В.Г. Ральченко, А.П. Большаков, В.И. Конов, А.Н. Соколов, В.Г. Гаргин // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2011. — Вип. 14. — С. 288-292. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

В настоящей работе представлены результаты по эмиссионно-спектроскопическим исследованиям СВЧ плазмы в процессе газофазового роста CVD алмаза при осаждении поликристаллических алмазных пластин на кремниевых подложках, а также по исследованию морфологических особенностей получаемых из них армирующих...