Получение аморфных пленок гидрогенизированного углерода низкотемпературной плазме тлеющего разряда

Получение аморфных пленок гидрогенизированного углерода низкотемпературной плазме тлеющего разряда

Исследовано осаждение пленок гидрогенизированного аморфного углерода из смеси циклогексанаргона и метана в низкотемпературной плазме тлеющего разряда при использовании двух электрических разрядов: частотой 50 Гц для создания проводящей среды и активации газа в положительном столбе тлеющего разряда,...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Видавець:Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
Дата:2011
Автори: Варшавская, И.Г., Буховец, В.Л.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2011
Назва видання:Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения
Теми:
Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/63269
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Цитувати:Получение аморфных пленок гидрогенизированного углерода низкотемпературной плазме тлеющего разряда / И.Г. Варшавская, В.Л. Буховец // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2011. — Вип. 14. — С. 385-389. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-63269
record_format dspace
spelling irk-123456789-632692014-06-01T03:02:18Z Получение аморфных пленок гидрогенизированного углерода низкотемпературной плазме тлеющего разряда Варшавская, И.Г. Буховец, В.Л. Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора Исследовано осаждение пленок гидрогенизированного аморфного углерода из смеси циклогексанаргона и метана в низкотемпературной плазме тлеющего разряда при использовании двух электрических разрядов: частотой 50 Гц для создания проводящей среды и активации газа в положительном столбе тлеющего разряда, 5–80 и 250 кГц для управления потоком ионов на поверхность осаждения, а также соотношение параметров процесса, свойств и микроструктуры пленок. Досліджено осадження плівок гидрогенізованого аморфного вуглецю з суміші циклогексанаргону і метану в низькотемпературній плазмі тліючого розряду при використанні двох електричних розрядів: частотою 50 Гц для створення провідного середовища та активації газу в позитивному стовпі тліючого розряду, 5-80 і 250 кГц для управління потоком іонів на поверхню осадження, а також співвідношення параметрів процесу, властивостей і мікроструктури плівок. Deposition of hydrogenated amorphous carbon films in low-temperature cyclohexan-argon and methane plasma of glow discharge was studied. Two electric discharges were applied: for creation of conductive medium and gas activation in positive column of glow discharge (50 Hz) and for ion flux training onto deposition surface (5-80 kHz and 250 kHz). Relation between the process parameters, properties and microstructure of carbon films was examined. 2011 Article Получение аморфных пленок гидрогенизированного углерода низкотемпературной плазме тлеющего разряда / И.Г. Варшавская, В.Л. Буховец // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2011. — Вип. 14. — С. 385-389. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 2223-3938 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/63269 546.26:432.2 ru Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора
Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора
spellingShingle Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора
Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора
Варшавская, И.Г.
Буховец, В.Л.
Получение аморфных пленок гидрогенизированного углерода низкотемпературной плазме тлеющего разряда
Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения
description Исследовано осаждение пленок гидрогенизированного аморфного углерода из смеси циклогексанаргона и метана в низкотемпературной плазме тлеющего разряда при использовании двух электрических разрядов: частотой 50 Гц для создания проводящей среды и активации газа в положительном столбе тлеющего разряда, 5–80 и 250 кГц для управления потоком ионов на поверхность осаждения, а также соотношение параметров процесса, свойств и микроструктуры пленок.
format Article
author Варшавская, И.Г.
Буховец, В.Л.
author_facet Варшавская, И.Г.
Буховец, В.Л.
author_sort Варшавская, И.Г.
title Получение аморфных пленок гидрогенизированного углерода низкотемпературной плазме тлеющего разряда
title_short Получение аморфных пленок гидрогенизированного углерода низкотемпературной плазме тлеющего разряда
title_full Получение аморфных пленок гидрогенизированного углерода низкотемпературной плазме тлеющего разряда
title_fullStr Получение аморфных пленок гидрогенизированного углерода низкотемпературной плазме тлеющего разряда
title_full_unstemmed Получение аморфных пленок гидрогенизированного углерода низкотемпературной плазме тлеющего разряда
title_sort получение аморфных пленок гидрогенизированного углерода низкотемпературной плазме тлеющего разряда
publisher Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
publishDate 2011
topic_facet Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/63269
citation_txt Получение аморфных пленок гидрогенизированного углерода низкотемпературной плазме тлеющего разряда / И.Г. Варшавская, В.Л. Буховец // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2011. — Вип. 14. — С. 385-389. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
series Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения
work_keys_str_mv AT varšavskaâig polučenieamorfnyhplenokgidrogenizirovannogouglerodanizkotemperaturnojplazmetleûŝegorazrâda
AT buhovecvl polučenieamorfnyhplenokgidrogenizirovannogouglerodanizkotemperaturnojplazmetleûŝegorazrâda
first_indexed 2023-10-18T18:43:05Z
last_indexed 2023-10-18T18:43:05Z
_version_ 1796144968862007296

Схожі ресурси