Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента
Представлены экспериментальные результаты применения сканирующего зондового микроскопа для механической обработки поверхности с нанометровой разрешающей способностью. Особенностями прибора являются острие из легированного бором монокристалла алмаза и электромагнитная система измерения нановзаимодейс...
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2009
|
| Назва видання: | Сверхтвердые материалы |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/63425 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента / О.Г. Лысенко // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 6. — С. 40-46. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-63425 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-634252014-06-02T03:01:40Z Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента Лысенко, О.Г. Получение, структура, свойства Представлены экспериментальные результаты применения сканирующего зондового микроскопа для механической обработки поверхности с нанометровой разрешающей способностью. Особенностями прибора являются острие из легированного бором монокристалла алмаза и электромагнитная система измерения нановзаимодействия между острием и поверхностью образца. Продемонстрированы трехмерные изображения поверхности золота и кремния после операций наноочистки и наноцарапания. Обсуждены возможности использования алмазного наноинструмента для изготовления элементов наноэлектроники. 2009 Article Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента / О.Г. Лысенко // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 6. — С. 40-46. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. 0203-3119 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/63425 548.74:681.723:621.9.02 ru Сверхтвердые материалы Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Получение, структура, свойства Получение, структура, свойства |
| spellingShingle |
Получение, структура, свойства Получение, структура, свойства Лысенко, О.Г. Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента Сверхтвердые материалы |
| description |
Представлены экспериментальные результаты применения сканирующего зондового микроскопа для механической обработки поверхности с нанометровой разрешающей способностью. Особенностями прибора являются острие из легированного бором монокристалла алмаза и электромагнитная система измерения нановзаимодействия между острием и поверхностью образца. Продемонстрированы трехмерные изображения поверхности золота и кремния после операций наноочистки и наноцарапания. Обсуждены возможности использования алмазного наноинструмента для изготовления элементов наноэлектроники. |
| format |
Article |
| author |
Лысенко, О.Г. |
| author_facet |
Лысенко, О.Г. |
| author_sort |
Лысенко, О.Г. |
| title |
Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента |
| title_short |
Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента |
| title_full |
Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента |
| title_fullStr |
Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента |
| title_full_unstemmed |
Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента |
| title_sort |
применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента |
| publisher |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| publishDate |
2009 |
| topic_facet |
Получение, структура, свойства |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/63425 |
| citation_txt |
Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента / О.Г. Лысенко // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 6. — С. 40-46. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
| series |
Сверхтвердые материалы |
| work_keys_str_mv |
AT lysenkoog primenenieskaniruûŝegozondovogomikroskopasalmaznymostriemvkačestvenanotehnologičeskogoinstrumenta |
| first_indexed |
2023-10-18T18:43:26Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:43:26Z |
| _version_ |
1796144984575967232 |