Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки

Досліджені процеси іонізації та осадження металів і напівпровідників на площинну підкладку в області мікровістря скануючого тунельного літографа, зроблені оцінки продуктивності методу формування наноструктур для квантових елементів обчислювальної техніки....

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2003
Автори: Золот, А.І., Клочко, О.М.
Формат: Стаття
Мова:Ukrainian
Опубліковано: Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України 2003
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/6390
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки / А.І. Золот, О.М. Клочко // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2003. — № 2. — С. 126-129. — Бібліогр.: 4 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-6390
record_format dspace
spelling irk-123456789-63902010-03-04T12:01:03Z Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки Золот, А.І. Клочко, О.М. Досліджені процеси іонізації та осадження металів і напівпровідників на площинну підкладку в області мікровістря скануючого тунельного літографа, зроблені оцінки продуктивності методу формування наноструктур для квантових елементів обчислювальної техніки. 2003 Article Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки / А.І. Золот, О.М. Клочко // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2003. — № 2. — С. 126-129. — Бібліогр.: 4 назв. — укр. 1817-9908 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/6390 621.382 uk Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Ukrainian
description Досліджені процеси іонізації та осадження металів і напівпровідників на площинну підкладку в області мікровістря скануючого тунельного літографа, зроблені оцінки продуктивності методу формування наноструктур для квантових елементів обчислювальної техніки.
format Article
author Золот, А.І.
Клочко, О.М.
spellingShingle Золот, А.І.
Клочко, О.М.
Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки
author_facet Золот, А.І.
Клочко, О.М.
author_sort Золот, А.І.
title Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки
title_short Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки
title_full Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки
title_fullStr Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки
title_full_unstemmed Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки
title_sort формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки
publisher Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України
publishDate 2003
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/6390
citation_txt Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки / А.І. Золот, О.М. Клочко // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2003. — № 2. — С. 126-129. — Бібліогр.: 4 назв. — укр.
work_keys_str_mv AT zolotaí formuvannânanorozmírnihstrukturdlâkvantovihpriladívobčislûvalʹnoítehníki
AT kločkoom formuvannânanorozmírnihstrukturdlâkvantovihpriladívobčislûvalʹnoítehníki
first_indexed 2023-10-18T16:35:02Z
last_indexed 2023-10-18T16:35:02Z
_version_ 1796139366871990272