Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки
Досліджені процеси іонізації та осадження металів і напівпровідників на площинну підкладку в області мікровістря скануючого тунельного літографа, зроблені оцінки продуктивності методу формування наноструктур для квантових елементів обчислювальної техніки....
Збережено в:
Дата: | 2003 |
---|---|
Автори: | , |
Формат: | Стаття |
Мова: | Ukrainian |
Опубліковано: |
Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України
2003
|
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/6390 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки / А.І. Золот, О.М. Клочко // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2003. — № 2. — С. 126-129. — Бібліогр.: 4 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-6390 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-63902010-03-04T12:01:03Z Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки Золот, А.І. Клочко, О.М. Досліджені процеси іонізації та осадження металів і напівпровідників на площинну підкладку в області мікровістря скануючого тунельного літографа, зроблені оцінки продуктивності методу формування наноструктур для квантових елементів обчислювальної техніки. 2003 Article Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки / А.І. Золот, О.М. Клочко // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2003. — № 2. — С. 126-129. — Бібліогр.: 4 назв. — укр. 1817-9908 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/6390 621.382 uk Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
Ukrainian |
description |
Досліджені процеси іонізації та осадження металів і напівпровідників на площинну підкладку в області мікровістря скануючого тунельного літографа, зроблені оцінки продуктивності методу формування наноструктур для квантових елементів обчислювальної техніки. |
format |
Article |
author |
Золот, А.І. Клочко, О.М. |
spellingShingle |
Золот, А.І. Клочко, О.М. Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки |
author_facet |
Золот, А.І. Клочко, О.М. |
author_sort |
Золот, А.І. |
title |
Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки |
title_short |
Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки |
title_full |
Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки |
title_fullStr |
Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки |
title_full_unstemmed |
Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки |
title_sort |
формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки |
publisher |
Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України |
publishDate |
2003 |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/6390 |
citation_txt |
Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки / А.І. Золот, О.М. Клочко // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2003. — № 2. — С. 126-129. — Бібліогр.: 4 назв. — укр. |
work_keys_str_mv |
AT zolotaí formuvannânanorozmírnihstrukturdlâkvantovihpriladívobčislûvalʹnoítehníki AT kločkoom formuvannânanorozmírnihstrukturdlâkvantovihpriladívobčislûvalʹnoítehníki |
first_indexed |
2023-10-18T16:35:02Z |
last_indexed |
2023-10-18T16:35:02Z |
_version_ |
1796139366871990272 |