Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления
В широких концентрационных интервалах исследован фазовый состав, электрические свойства и параметры ближнего порядка свеженапыленных и термообработанных пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных модернизированным методом ионноплазменного напыления (ИПН). В исходном свеженапыленном состоянии пленки с содержан...
Збережено в:
| Дата: | 2007 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
2007
|
| Назва видання: | Физика и техника высоких давлений |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70363 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления / О.Е. Белецкая, В.Ф. Башев, Н.А. Куцева, Ф.Ф. Доценко, С.И. Рябцев // Физика и техника высоких давлений. — 2007. — Т. 17, № 3. — С. 27-37. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-70363 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-703632014-11-04T03:01:49Z Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления Белецкая, О.Е. Башев, В.Ф. Куцева, Н.А. Доценко, Ф.Ф. Рябцев, С.И. В широких концентрационных интервалах исследован фазовый состав, электрические свойства и параметры ближнего порядка свеженапыленных и термообработанных пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных модернизированным методом ионноплазменного напыления (ИПН). В исходном свеженапыленном состоянии пленки с содержанием ~ (22−75) at.% легирующего элемента (Nb или Ta) состоят либо из рентгеноаморфной (РАФ), либо из аморфно-кристаллической (РАФ + К) фаз. При отжиге в вакууме (10⁻³ Pа) некристаллические фазы не распадаются вплоть до температур, при которых начинается интенсивное окисление пленок. Примененный в работе метод ИПН позволяет получать рентгеноаморфные пленки Al−Nb и Al−Ta в широких концентрационных интервалах с различными номиналами поверхностного электросопротивления ρS и прецизионными значениями температурного коэффициента сопротивления (ТКС). The phase composition, electrical properties and parameters of short range order of the Al−Nb and Al−Ta films were researched in the wide concentration intervals. The films were obtained by the modified method of ion-plasma sputtering (IPS). The films with 22−75 at.% of alloying elements (Nb or Ta) consist of amorphous or amorphous and crystalline phases in initial state. The non-crystalline phases are stable up to temperatures of intensive oxidation of films at annealing in vacuum. The IPS method allows obtaining of homogeneous Al−Nb and Al−Ta films with wide nominal values of sheet electrical resistance and precision values of temperature coefficient of resistance. 2007 Article Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления / О.Е. Белецкая, В.Ф. Башев, Н.А. Куцева, Ф.Ф. Доценко, С.И. Рябцев // Физика и техника высоких давлений. — 2007. — Т. 17, № 3. — С. 27-37. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 0868-5924 PACS: 81.15.Fg, 61.43.Dq, 64.60.My, 73.61.−r http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70363 ru Физика и техника высоких давлений Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
В широких концентрационных интервалах исследован фазовый состав, электрические свойства и параметры ближнего порядка свеженапыленных и термообработанных пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных модернизированным методом ионноплазменного напыления (ИПН). В исходном свеженапыленном состоянии пленки с содержанием ~ (22−75) at.% легирующего элемента (Nb или Ta) состоят либо из рентгеноаморфной (РАФ), либо из аморфно-кристаллической (РАФ + К) фаз. При отжиге в вакууме (10⁻³ Pа) некристаллические фазы не распадаются вплоть до температур, при которых начинается интенсивное окисление пленок. Примененный в работе метод ИПН позволяет получать рентгеноаморфные пленки Al−Nb и Al−Ta в широких концентрационных интервалах с различными номиналами поверхностного электросопротивления ρS и прецизионными значениями температурного коэффициента сопротивления (ТКС). |
| format |
Article |
| author |
Белецкая, О.Е. Башев, В.Ф. Куцева, Н.А. Доценко, Ф.Ф. Рябцев, С.И. |
| spellingShingle |
Белецкая, О.Е. Башев, В.Ф. Куцева, Н.А. Доценко, Ф.Ф. Рябцев, С.И. Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления Физика и техника высоких давлений |
| author_facet |
Белецкая, О.Е. Башев, В.Ф. Куцева, Н.А. Доценко, Ф.Ф. Рябцев, С.И. |
| author_sort |
Белецкая, О.Е. |
| title |
Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления |
| title_short |
Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления |
| title_full |
Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления |
| title_fullStr |
Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления |
| title_full_unstemmed |
Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления |
| title_sort |
особенности фазообразования и физические свойства пленок al−nb и al−ta, полученных методом ионно-плазменного напыления |
| publisher |
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України |
| publishDate |
2007 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70363 |
| citation_txt |
Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления / О.Е. Белецкая, В.Ф. Башев, Н.А. Куцева, Ф.Ф. Доценко, С.И. Рябцев // Физика и техника высоких давлений. — 2007. — Т. 17, № 3. — С. 27-37. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| series |
Физика и техника высоких давлений |
| work_keys_str_mv |
AT beleckaâoe osobennostifazoobrazovaniâifizičeskiesvojstvaplenokalnbialtapolučennyhmetodomionnoplazmennogonapyleniâ AT baševvf osobennostifazoobrazovaniâifizičeskiesvojstvaplenokalnbialtapolučennyhmetodomionnoplazmennogonapyleniâ AT kucevana osobennostifazoobrazovaniâifizičeskiesvojstvaplenokalnbialtapolučennyhmetodomionnoplazmennogonapyleniâ AT docenkoff osobennostifazoobrazovaniâifizičeskiesvojstvaplenokalnbialtapolučennyhmetodomionnoplazmennogonapyleniâ AT râbcevsi osobennostifazoobrazovaniâifizičeskiesvojstvaplenokalnbialtapolučennyhmetodomionnoplazmennogonapyleniâ |
| first_indexed |
2023-10-18T18:58:22Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:58:22Z |
| _version_ |
1796145659175239680 |