Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
Приведены основы метода контролируемого анодного окисления ("анодной спектроскопии"), методики его применения, результаты исследований многослойных тонкопленочных структур. Получены и проанализированы профили анодирования структур, сформированных при осаждении пленок Nb и Al электронно-луч...
Збережено в:
| Дата: | 2003 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2003
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70698 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур / Т.С. Лебедева, П.Б. Шпилевой, И.Д. Войтович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 42-46. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |