Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++-p+-перехода
Рассмотрено влияние микродефектов, а также примесей кислорода и углерода в кремниевой подложке на пробивное напряжение неуправляемого n⁺⁺-p⁺-перехода. Кратко рассмотрен механизм влияния примеси кислорода на тип пробоя. Рассмотрены возможности практического использования результатов данной работы в т...
Збережено в:
| Дата: | 2003 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2003
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70724 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n⁺⁺-p⁺-перехода / В.П. Сидоренко, А.Ю. Кизяк, Ю.Е. Николаенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 56-58. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-70724 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-707242014-11-12T03:02:01Z Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++-p+-перехода Сидоренко, В.П. Кизяк, А.Ю. Николаенко, Ю.Е. Интегральные схемы и полупроводниковые приборы Рассмотрено влияние микродефектов, а также примесей кислорода и углерода в кремниевой подложке на пробивное напряжение неуправляемого n⁺⁺-p⁺-перехода. Кратко рассмотрен механизм влияния примеси кислорода на тип пробоя. Рассмотрены возможности практического использования результатов данной работы в технологии изготовления СБИС. 2003 Article Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n⁺⁺-p⁺-перехода / В.П. Сидоренко, А.Ю. Кизяк, Ю.Е. Николаенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 56-58. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70724 621.315.592 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Интегральные схемы и полупроводниковые приборы Интегральные схемы и полупроводниковые приборы |
| spellingShingle |
Интегральные схемы и полупроводниковые приборы Интегральные схемы и полупроводниковые приборы Сидоренко, В.П. Кизяк, А.Ю. Николаенко, Ю.Е. Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++-p+-перехода Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Рассмотрено влияние микродефектов, а также примесей кислорода и углерода в кремниевой подложке на пробивное напряжение неуправляемого n⁺⁺-p⁺-перехода. Кратко рассмотрен механизм влияния примеси кислорода на тип пробоя. Рассмотрены возможности практического использования результатов данной работы в технологии изготовления СБИС. |
| format |
Article |
| author |
Сидоренко, В.П. Кизяк, А.Ю. Николаенко, Ю.Е. |
| author_facet |
Сидоренко, В.П. Кизяк, А.Ю. Николаенко, Ю.Е. |
| author_sort |
Сидоренко, В.П. |
| title |
Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++-p+-перехода |
| title_short |
Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++-p+-перехода |
| title_full |
Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++-p+-перехода |
| title_fullStr |
Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++-p+-перехода |
| title_full_unstemmed |
Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++-p+-перехода |
| title_sort |
влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++-p+-перехода |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2003 |
| topic_facet |
Интегральные схемы и полупроводниковые приборы |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70724 |
| citation_txt |
Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n⁺⁺-p⁺-перехода / В.П. Сидоренко, А.Ю. Кизяк, Ю.Е. Николаенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 56-58. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT sidorenkovp vliâniekremnievojpodložkinaprobivnoenaprâženierazvetvlennogonpperehoda AT kizâkaû vliâniekremnievojpodložkinaprobivnoenaprâženierazvetvlennogonpperehoda AT nikolaenkoûe vliâniekremnievojpodložkinaprobivnoenaprâženierazvetvlennogonpperehoda |
| first_indexed |
2023-10-18T18:59:10Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:59:10Z |
| _version_ |
1796145694582505472 |