2025-02-22T16:42:19-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-70725%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-22T16:42:19-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-70725%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-22T16:42:19-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-22T16:42:19-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах

Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах

Методом радиоактивных изотопов исследована десорбция катионов (Na¹⁺, Fe³⁺, Cu2⁺, Ag¹⁺) и атомов (Au) металлов и анионов S²⁻ и Cl¹⁻ с поверхности кремниевых пластин КДБ-10 ориентации (100) и (110) при их обработке при 70°С в перекисно-аммиачных растворах трех составов....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Полтавцев, Ю.Г., Вирченко, П.Т., Костюк, В.В.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2003
Series:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:
Интегральные схемы и полупроводниковые приборы
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70725
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Description
Summary:Методом радиоактивных изотопов исследована десорбция катионов (Na¹⁺, Fe³⁺, Cu2⁺, Ag¹⁺) и атомов (Au) металлов и анионов S²⁻ и Cl¹⁻ с поверхности кремниевых пластин КДБ-10 ориентации (100) и (110) при их обработке при 70°С в перекисно-аммиачных растворах трех составов.

Similar Items