Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах
Методом радиоактивных изотопов исследована десорбция катионов (Na¹⁺, Fe³⁺, Cu2⁺, Ag¹⁺) и атомов (Au) металлов и анионов S²⁻ и Cl¹⁻ с поверхности кремниевых пластин КДБ-10 ориентации (100) и (110) при их обработке при 70°С в перекисно-аммиачных растворах трех составов....
Збережено в:
| Дата: | 2003 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2003
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70725 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах / Ю.Г. Полтавцев, П.Т. Вирченко, В.В. Костюк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 59-60. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-70725 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-707252014-11-12T03:01:46Z Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах Полтавцев, Ю.Г. Вирченко, П.Т. Костюк, В.В. Интегральные схемы и полупроводниковые приборы Методом радиоактивных изотопов исследована десорбция катионов (Na¹⁺, Fe³⁺, Cu2⁺, Ag¹⁺) и атомов (Au) металлов и анионов S²⁻ и Cl¹⁻ с поверхности кремниевых пластин КДБ-10 ориентации (100) и (110) при их обработке при 70°С в перекисно-аммиачных растворах трех составов. 2003 Article Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах / Ю.Г. Полтавцев, П.Т. Вирченко, В.В. Костюк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 59-60. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70725 621.382+681.3 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Интегральные схемы и полупроводниковые приборы Интегральные схемы и полупроводниковые приборы |
| spellingShingle |
Интегральные схемы и полупроводниковые приборы Интегральные схемы и полупроводниковые приборы Полтавцев, Ю.Г. Вирченко, П.Т. Костюк, В.В. Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Методом радиоактивных изотопов исследована десорбция катионов (Na¹⁺, Fe³⁺, Cu2⁺, Ag¹⁺) и атомов (Au) металлов и анионов S²⁻ и Cl¹⁻ с поверхности кремниевых пластин КДБ-10 ориентации (100) и (110) при их обработке при 70°С в перекисно-аммиачных растворах трех составов. |
| format |
Article |
| author |
Полтавцев, Ю.Г. Вирченко, П.Т. Костюк, В.В. |
| author_facet |
Полтавцев, Ю.Г. Вирченко, П.Т. Костюк, В.В. |
| author_sort |
Полтавцев, Ю.Г. |
| title |
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах |
| title_short |
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах |
| title_full |
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах |
| title_fullStr |
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах |
| title_full_unstemmed |
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах |
| title_sort |
кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2003 |
| topic_facet |
Интегральные схемы и полупроводниковые приборы |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70725 |
| citation_txt |
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах / Ю.Г. Полтавцев, П.Т. Вирченко, В.В. Костюк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 59-60. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT poltavcevûg kinetikadesorbcionnojočistkipoverhnostikremnievyhplastinvperekisnoammiačnyhrastvorah AT virčenkopt kinetikadesorbcionnojočistkipoverhnostikremnievyhplastinvperekisnoammiačnyhrastvorah AT kostûkvv kinetikadesorbcionnojočistkipoverhnostikremnievyhplastinvperekisnoammiačnyhrastvorah |
| first_indexed |
2023-10-18T18:59:10Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:59:10Z |
| _version_ |
1796145694688411648 |