Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах
Проведен математический расчет упругих механических напряжений в двухслойных структурах с отличающимися упругими постоянными пленки и подложки. Выведена формула, показывающая, что возникающие в пленке механические напряжения пропорциональны ее толщине и температуре осаждения и обратно пропорциональн...
Збережено в:
| Дата: | 2002 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2002
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70736 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах / Ф.Д. Касимов, А.Э. Лютфалибекова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 13-14. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-70736 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-707362014-11-12T03:01:53Z Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах Касимов, Ф.Д. Лютфалибекова, А.Э. Проектирование. Конструирование Проведен математический расчет упругих механических напряжений в двухслойных структурах с отличающимися упругими постоянными пленки и подложки. Выведена формула, показывающая, что возникающие в пленке механические напряжения пропорциональны ее толщине и температуре осаждения и обратно пропорциональны толщине подложки. 2002 Article Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах / Ф.Д. Касимов, А.Э. Лютфалибекова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 13-14. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70736 621.382 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Проектирование. Конструирование Проектирование. Конструирование |
| spellingShingle |
Проектирование. Конструирование Проектирование. Конструирование Касимов, Ф.Д. Лютфалибекова, А.Э. Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Проведен математический расчет упругих механических напряжений в двухслойных структурах с отличающимися упругими постоянными пленки и подложки. Выведена формула, показывающая, что возникающие в пленке механические напряжения пропорциональны ее толщине и температуре осаждения и обратно пропорциональны толщине подложки. |
| format |
Article |
| author |
Касимов, Ф.Д. Лютфалибекова, А.Э. |
| author_facet |
Касимов, Ф.Д. Лютфалибекова, А.Э. |
| author_sort |
Касимов, Ф.Д. |
| title |
Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах |
| title_short |
Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах |
| title_full |
Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах |
| title_fullStr |
Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах |
| title_full_unstemmed |
Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах |
| title_sort |
расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2002 |
| topic_facet |
Проектирование. Конструирование |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70736 |
| citation_txt |
Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах / Ф.Д. Касимов, А.Э. Лютфалибекова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 13-14. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT kasimovfd rasčetuprugihmehaničeskihnaprâženijvneodnorodnyhpoluprovodnikovyhstrukturah AT lûtfalibekovaaé rasčetuprugihmehaničeskihnaprâženijvneodnorodnyhpoluprovodnikovyhstrukturah |
| first_indexed |
2023-10-18T18:59:11Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:59:11Z |
| _version_ |
1796145695325945856 |