Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников
Комплекс позволяет исследовать оптические свойства полупроводниковых материалов, в частности, ширину запрещенной зоны, энергию ионизации примесей. В его основу положен метод оптоемкостной спектроскопии. Метод является бесконтактным, позволяет исследовать образцы полупроводниковых материалов, толщина...
Збережено в:
Видавець: | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
---|---|
Дата: | 2002 |
Автор: | |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2002
|
Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70742 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Цитувати: | Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников / В.А. Васильев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 46-49. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-70742 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-707422014-11-12T03:02:08Z Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников Васильев, В.А. Технология производства Комплекс позволяет исследовать оптические свойства полупроводниковых материалов, в частности, ширину запрещенной зоны, энергию ионизации примесей. В его основу положен метод оптоемкостной спектроскопии. Метод является бесконтактным, позволяет исследовать образцы полупроводниковых материалов, толщина которых меньше, чем диффузионная длина свободных носителей заряда. Комплекс состоит из монохроматора, исследуемой твердотельной структуры, оптоемкостного преобразователя и регистратора. Описан алгоритм автоматизированной настройки канала измерения. 2002 Article Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников / В.А. Васильев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 46-49. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70742 681.325 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
Russian |
topic |
Технология производства Технология производства |
spellingShingle |
Технология производства Технология производства Васильев, В.А. Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
description |
Комплекс позволяет исследовать оптические свойства полупроводниковых материалов, в частности, ширину запрещенной зоны, энергию ионизации примесей. В его основу положен метод оптоемкостной спектроскопии. Метод является бесконтактным, позволяет исследовать образцы полупроводниковых материалов, толщина которых меньше, чем диффузионная длина свободных носителей заряда. Комплекс состоит из монохроматора, исследуемой твердотельной структуры, оптоемкостного преобразователя и регистратора. Описан алгоритм автоматизированной настройки канала измерения. |
format |
Article |
author |
Васильев, В.А. |
author_facet |
Васильев, В.А. |
author_sort |
Васильев, В.А. |
title |
Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников |
title_short |
Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников |
title_full |
Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников |
title_fullStr |
Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников |
title_full_unstemmed |
Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников |
title_sort |
информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников |
publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
publishDate |
2002 |
topic_facet |
Технология производства |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70742 |
citation_txt |
Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников / В.А. Васильев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 46-49. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
work_keys_str_mv |
AT vasilʹevva informacionnoizmeritelʹnyjkompleksdlâoptoemkostnojspektroskopiipoluprovodnikov |
first_indexed |
2023-10-18T18:59:11Z |
last_indexed |
2023-10-18T18:59:11Z |
_version_ |
1796145695957188608 |