Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников

Комплекс позволяет исследовать оптические свойства полупроводниковых материалов, в частности, ширину запрещенной зоны, энергию ионизации примесей. В его основу положен метод оптоемкостной спектроскопии. Метод является бесконтактным, позволяет исследовать образцы полупроводниковых материалов, толщина...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Видавець:Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Дата:2002
Автор: Васильев, В.А.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2002
Назва видання:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70742
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Цитувати:Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников / В.А. Васильев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 46-49. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-70742
record_format dspace
spelling irk-123456789-707422014-11-12T03:02:08Z Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников Васильев, В.А. Технология производства Комплекс позволяет исследовать оптические свойства полупроводниковых материалов, в частности, ширину запрещенной зоны, энергию ионизации примесей. В его основу положен метод оптоемкостной спектроскопии. Метод является бесконтактным, позволяет исследовать образцы полупроводниковых материалов, толщина которых меньше, чем диффузионная длина свободных носителей заряда. Комплекс состоит из монохроматора, исследуемой твердотельной структуры, оптоемкостного преобразователя и регистратора. Описан алгоритм автоматизированной настройки канала измерения. 2002 Article Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников / В.А. Васильев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 46-49. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70742 681.325 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Технология производства
Технология производства
spellingShingle Технология производства
Технология производства
Васильев, В.А.
Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Комплекс позволяет исследовать оптические свойства полупроводниковых материалов, в частности, ширину запрещенной зоны, энергию ионизации примесей. В его основу положен метод оптоемкостной спектроскопии. Метод является бесконтактным, позволяет исследовать образцы полупроводниковых материалов, толщина которых меньше, чем диффузионная длина свободных носителей заряда. Комплекс состоит из монохроматора, исследуемой твердотельной структуры, оптоемкостного преобразователя и регистратора. Описан алгоритм автоматизированной настройки канала измерения.
format Article
author Васильев, В.А.
author_facet Васильев, В.А.
author_sort Васильев, В.А.
title Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников
title_short Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников
title_full Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников
title_fullStr Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников
title_full_unstemmed Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников
title_sort информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2002
topic_facet Технология производства
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70742
citation_txt Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников / В.А. Васильев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 46-49. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT vasilʹevva informacionnoizmeritelʹnyjkompleksdlâoptoemkostnojspektroskopiipoluprovodnikov
first_indexed 2023-10-18T18:59:11Z
last_indexed 2023-10-18T18:59:11Z
_version_ 1796145695957188608