Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона

Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона

Показано, что основные задачи реализации пленочных ГИС сверхвысоких и крайне высоких частот состоят в выборе материала подложки, методов точного формирования проводников, методов и режимов осаждения металлов с высокой проводимостью без адгезионного подслоя. Эти задачи могут быть успешно решены при п...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2002
Автор: Кренделев, А.Е.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2002
Назва видання:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Теми:
Технология производства
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70788
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона / А.Е. Кренделев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 4-5. — С. 34-39. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-70788
record_format dspace
spelling irk-123456789-707882014-11-14T03:01:41Z Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона Кренделев, А.Е. Технология производства Показано, что основные задачи реализации пленочных ГИС сверхвысоких и крайне высоких частот состоят в выборе материала подложки, методов точного формирования проводников, методов и режимов осаждения металлов с высокой проводимостью без адгезионного подслоя. Эти задачи могут быть успешно решены при применении полимерных подложек, методов ионного травления с использованием источника ионов типа Кауфмана и при использовании магнетронного распыления металлов. 2002 Article Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона / А.Е. Кренделев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 4-5. — С. 34-39. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70788 621.385.69 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Технология производства
Технология производства
spellingShingle Технология производства
Технология производства
Кренделев, А.Е.
Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Показано, что основные задачи реализации пленочных ГИС сверхвысоких и крайне высоких частот состоят в выборе материала подложки, методов точного формирования проводников, методов и режимов осаждения металлов с высокой проводимостью без адгезионного подслоя. Эти задачи могут быть успешно решены при применении полимерных подложек, методов ионного травления с использованием источника ионов типа Кауфмана и при использовании магнетронного распыления металлов.
format Article
author Кренделев, А.Е.
author_facet Кренделев, А.Е.
author_sort Кренделев, А.Е.
title Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона
title_short Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона
title_full Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона
title_fullStr Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона
title_full_unstemmed Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона
title_sort технологические средства изготовления микрополосковых линий для гис квч-диапазона
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2002
topic_facet Технология производства
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70788
citation_txt Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона / А.Е. Кренделев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 4-5. — С. 34-39. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT krendelevae tehnologičeskiesredstvaizgotovleniâmikropoloskovyhlinijdlâgiskvčdiapazona
first_indexed 2023-10-18T18:59:18Z
last_indexed 2023-10-18T18:59:18Z
_version_ 1796145700813144064

Схожі ресурси