Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации
Локальным идентированием экспериментально исследовано распределение механических напряжений в элементах эпитаксиальных структур в зависимости от их размеров и конфигурации. Определены минимальные размеры эпитаксиальных датчиков Холла (330×220 мкм), при уменьшении которых возникают дислокации, вызыва...
Збережено в:
| Дата: | 2001 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70828 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации / Ф.Д. Касимов, С.А. Исмайлова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 1. — С. 35-37. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-70828 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-708282014-11-16T03:02:01Z Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации Касимов, Ф.Д. Исмайлова, С.А. Датчики Локальным идентированием экспериментально исследовано распределение механических напряжений в элементах эпитаксиальных структур в зависимости от их размеров и конфигурации. Определены минимальные размеры эпитаксиальных датчиков Холла (330×220 мкм), при уменьшении которых возникают дислокации, вызывающие временные и температурные дрейфы их параметров. 2001 Article Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации / Ф.Д. Касимов, С.А. Исмайлова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 1. — С. 35-37. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70828 621.315.592 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Датчики Датчики |
| spellingShingle |
Датчики Датчики Касимов, Ф.Д. Исмайлова, С.А. Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Локальным идентированием экспериментально исследовано распределение механических напряжений в элементах эпитаксиальных структур в зависимости от их размеров и конфигурации. Определены минимальные размеры эпитаксиальных датчиков Холла (330×220 мкм), при уменьшении которых возникают дислокации, вызывающие временные и температурные дрейфы их параметров. |
| format |
Article |
| author |
Касимов, Ф.Д. Исмайлова, С.А. |
| author_facet |
Касимов, Ф.Д. Исмайлова, С.А. |
| author_sort |
Касимов, Ф.Д. |
| title |
Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации |
| title_short |
Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации |
| title_full |
Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации |
| title_fullStr |
Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации |
| title_full_unstemmed |
Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации |
| title_sort |
исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках холла различной конфигурации |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2001 |
| topic_facet |
Датчики |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70828 |
| citation_txt |
Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации / Ф.Д. Касимов, С.А. Исмайлова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 1. — С. 35-37. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT kasimovfd issledovaniemehaničeskihnaprâženijvépitaksialʹnyhdatčikahhollarazličnojkonfiguracii AT ismajlovasa issledovaniemehaničeskihnaprâženijvépitaksialʹnyhdatčikahhollarazličnojkonfiguracii |
| first_indexed |
2023-10-18T18:59:22Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:59:22Z |
| _version_ |
1796145704413954048 |