Влияние радиационно-индуцированных эффектов на радиационную стойкость кремниевых МОП-структур
Исследовано влияние γ-излучения на параметры границы раздела Si-SiO₂ МОП-структур в зависимости от технологических режимов их получения.
Збережено в:
| Дата: | 2001 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70837 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние радиационно-индуцированных эффектов на радиационную стойкость кремниевых МОП-структур / Э.М. Гаджиев, Я.Ю. Гусейнов, Н.М. Исмайлов, Ф.Д. Касимов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 28-30. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-70837 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-708372014-11-16T03:01:37Z Влияние радиационно-индуцированных эффектов на радиационную стойкость кремниевых МОП-структур Гаджиев, Э.М. Гусейнов, Я.Ю. Исмайлов, Н.М. Касимов, Ф.Д. Качество. Надежность Исследовано влияние γ-излучения на параметры границы раздела Si-SiO₂ МОП-структур в зависимости от технологических режимов их получения. 2001 Article Влияние радиационно-индуцированных эффектов на радиационную стойкость кремниевых МОП-структур / Э.М. Гаджиев, Я.Ю. Гусейнов, Н.М. Исмайлов, Ф.Д. Касимов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 28-30. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70837 621.315.592 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Качество. Надежность Качество. Надежность |
| spellingShingle |
Качество. Надежность Качество. Надежность Гаджиев, Э.М. Гусейнов, Я.Ю. Исмайлов, Н.М. Касимов, Ф.Д. Влияние радиационно-индуцированных эффектов на радиационную стойкость кремниевых МОП-структур Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Исследовано влияние γ-излучения на параметры границы раздела Si-SiO₂ МОП-структур в зависимости от технологических режимов их получения. |
| format |
Article |
| author |
Гаджиев, Э.М. Гусейнов, Я.Ю. Исмайлов, Н.М. Касимов, Ф.Д. |
| author_facet |
Гаджиев, Э.М. Гусейнов, Я.Ю. Исмайлов, Н.М. Касимов, Ф.Д. |
| author_sort |
Гаджиев, Э.М. |
| title |
Влияние радиационно-индуцированных эффектов на радиационную стойкость кремниевых МОП-структур |
| title_short |
Влияние радиационно-индуцированных эффектов на радиационную стойкость кремниевых МОП-структур |
| title_full |
Влияние радиационно-индуцированных эффектов на радиационную стойкость кремниевых МОП-структур |
| title_fullStr |
Влияние радиационно-индуцированных эффектов на радиационную стойкость кремниевых МОП-структур |
| title_full_unstemmed |
Влияние радиационно-индуцированных эффектов на радиационную стойкость кремниевых МОП-структур |
| title_sort |
влияние радиационно-индуцированных эффектов на радиационную стойкость кремниевых моп-структур |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2001 |
| topic_facet |
Качество. Надежность |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70837 |
| citation_txt |
Влияние радиационно-индуцированных эффектов на радиационную стойкость кремниевых МОП-структур / Э.М. Гаджиев, Я.Ю. Гусейнов, Н.М. Исмайлов, Ф.Д. Касимов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 28-30. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT gadžievém vliânieradiacionnoinducirovannyhéffektovnaradiacionnuûstojkostʹkremnievyhmopstruktur AT gusejnovâû vliânieradiacionnoinducirovannyhéffektovnaradiacionnuûstojkostʹkremnievyhmopstruktur AT ismajlovnm vliânieradiacionnoinducirovannyhéffektovnaradiacionnuûstojkostʹkremnievyhmopstruktur AT kasimovfd vliânieradiacionnoinducirovannyhéffektovnaradiacionnuûstojkostʹkremnievyhmopstruktur |
| first_indexed |
2023-10-18T18:59:24Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:59:24Z |
| _version_ |
1796145705367109632 |