Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
Рассмотрен метод электрического взрыва в вакууме для получения тонких пленок медно-цинковых сплавов. Приводится описание технологического оборудования и оснастки для автоматизации процесса вакуумного напыления. Приведены технологические режимы получения тонких пленок, результаты исследования химичес...
Збережено в:
| Дата: | 2001 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70840 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме / А.Н. Головяшкин, Д.В. Лежнев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 42-44. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Резюме: | Рассмотрен метод электрического взрыва в вакууме для получения тонких пленок медно-цинковых сплавов. Приводится описание технологического оборудования и оснастки для автоматизации процесса вакуумного напыления. Приведены технологические режимы получения тонких пленок, результаты исследования химического состава сплава в напыляемых пленках и их адгезионных свойств. Дан анализ полученных результатов, а также основные достоинства и недостатки метода электрического взрыва. |
|---|