Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме

Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме

Рассмотрен метод электрического взрыва в вакууме для получения тонких пленок медно-цинковых сплавов. Приводится описание технологического оборудования и оснастки для автоматизации процесса вакуумного напыления. Приведены технологические режимы получения тонких пленок, результаты исследования химичес...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2001
Автори: Головяшкин, А.Н., Лежнев, Д.В.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
Назва видання:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Теми:
Технология производства
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70840
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме / А.Н. Головяшкин, Д.В. Лежнев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 42-44. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-70840
record_format dspace
spelling irk-123456789-708402014-11-16T03:01:46Z Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме Головяшкин, А.Н. Лежнев, Д.В. Технология производства Рассмотрен метод электрического взрыва в вакууме для получения тонких пленок медно-цинковых сплавов. Приводится описание технологического оборудования и оснастки для автоматизации процесса вакуумного напыления. Приведены технологические режимы получения тонких пленок, результаты исследования химического состава сплава в напыляемых пленках и их адгезионных свойств. Дан анализ полученных результатов, а также основные достоинства и недостатки метода электрического взрыва. 2001 Article Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме / А.Н. Головяшкин, Д.В. Лежнев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 42-44. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70840 621.382 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Технология производства
Технология производства
spellingShingle Технология производства
Технология производства
Головяшкин, А.Н.
Лежнев, Д.В.
Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Рассмотрен метод электрического взрыва в вакууме для получения тонких пленок медно-цинковых сплавов. Приводится описание технологического оборудования и оснастки для автоматизации процесса вакуумного напыления. Приведены технологические режимы получения тонких пленок, результаты исследования химического состава сплава в напыляемых пленках и их адгезионных свойств. Дан анализ полученных результатов, а также основные достоинства и недостатки метода электрического взрыва.
format Article
author Головяшкин, А.Н.
Лежнев, Д.В.
author_facet Головяшкин, А.Н.
Лежнев, Д.В.
author_sort Головяшкин, А.Н.
title Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
title_short Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
title_full Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
title_fullStr Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
title_full_unstemmed Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
title_sort получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2001
topic_facet Технология производства
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70840
citation_txt Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме / А.Н. Головяшкин, Д.В. Лежнев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 42-44. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT golovâškinan polučenietonkihplenokmednocinkovyhsplavovmetodomélektričeskogovzryvavvakuume
AT ležnevdv polučenietonkihplenokmednocinkovyhsplavovmetodomélektričeskogovzryvavvakuume
first_indexed 2023-10-18T18:59:24Z
last_indexed 2023-10-18T18:59:24Z
_version_ 1796145705685876736

Схожі ресурси