Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления
Предложена тонкопленочная технология миниатюризации объемных медных термопреобразователей сопротивления. Термочувствительный слой формировался на жесткой подложке. Формирование бифилярной структуры осуществлялось с использованием процессов фотолитографии. Механическая прочность слоев и их временная...
Збережено в:
| Дата: | 2001 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70842 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления / В.В. Брайловский, О.Е. Иларионов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 47-48. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-70842 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-708422014-11-16T03:01:47Z Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления Брайловский, В.В. Иларионов, О.Е. Технология производства Предложена тонкопленочная технология миниатюризации объемных медных термопреобразователей сопротивления. Термочувствительный слой формировался на жесткой подложке. Формирование бифилярной структуры осуществлялось с использованием процессов фотолитографии. Механическая прочность слоев и их временная стабильность обеспечивалась использованием адгезионного и трехслойного защитного слоя. Напыление адгезионного и защитного слоев Ti–W осуществлялось в едином технологическом цикле. 2001 Article Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления / В.В. Брайловский, О.Е. Иларионов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 47-48. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70842 621.793.184:621.3.049.76 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Технология производства Технология производства |
| spellingShingle |
Технология производства Технология производства Брайловский, В.В. Иларионов, О.Е. Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Предложена тонкопленочная технология миниатюризации объемных медных термопреобразователей сопротивления. Термочувствительный слой формировался на жесткой подложке. Формирование бифилярной структуры осуществлялось с использованием процессов фотолитографии. Механическая прочность слоев и их временная стабильность обеспечивалась использованием адгезионного и трехслойного защитного слоя. Напыление адгезионного и защитного слоев Ti–W осуществлялось в едином технологическом цикле. |
| format |
Article |
| author |
Брайловский, В.В. Иларионов, О.Е. |
| author_facet |
Брайловский, В.В. Иларионов, О.Е. |
| author_sort |
Брайловский, В.В. |
| title |
Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления |
| title_short |
Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления |
| title_full |
Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления |
| title_fullStr |
Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления |
| title_full_unstemmed |
Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления |
| title_sort |
малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2001 |
| topic_facet |
Технология производства |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70842 |
| citation_txt |
Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления / В.В. Брайловский, О.Е. Иларионов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 47-48. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT brajlovskijvv maloinercionnyjlinejnyjtermopreobrazovatelʹsoprotivleniâ AT ilarionovoe maloinercionnyjlinejnyjtermopreobrazovatelʹsoprotivleniâ |
| first_indexed |
2023-10-18T18:59:24Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:59:24Z |
| _version_ |
1796145705896640512 |