Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений
Разработаны магнито- и газочувствительные интегральные преобразователи с частотным выходом на базе пленок поликристаллического кремния, выращенных в едином технологическом цикле эпитаксиального наращивания монокристаллических пленок n-типа проводимости....
Збережено в:
| Дата: | 2001 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70879 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений / Я.Ю. Гусейнов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 4-5. — С. 51-52. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |