Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров
Проведен аналитический расчет коэффициентов газового демпфирования колебаний планарного чувствительного элемента (ЧЭ) измерителя углового ускорения и получены геометрические параметры ЧЭ, обеспечивающие требуемые характеристики. Полученные результаты могут быть использованы при решении задач расчет...
Збережено в:
| Дата: | 2001 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70894 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров / Н.Г. Черняк, О.В. Стеценко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 43-46. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-70894 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-708942014-11-16T03:01:58Z Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров Черняк, Н.Г. Стеценко, О.В. Сенсоэлектроника Проведен аналитический расчет коэффициентов газового демпфирования колебаний планарного чувствительного элемента (ЧЭ) измерителя углового ускорения и получены геометрические параметры ЧЭ, обеспечивающие требуемые характеристики. Полученные результаты могут быть использованы при решении задач расчета параметров газового демпфирования планарных ЧЭ различных датчиков физических величин. 2001 Article Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров / Н.Г. Черняк, О.В. Стеценко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 43-46. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70894 531.767 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Сенсоэлектроника Сенсоэлектроника |
| spellingShingle |
Сенсоэлектроника Сенсоэлектроника Черняк, Н.Г. Стеценко, О.В. Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Проведен аналитический расчет коэффициентов газового демпфирования колебаний планарного чувствительного элемента (ЧЭ) измерителя углового ускорения и получены геометрические параметры ЧЭ, обеспечивающие требуемые характеристики. Полученные результаты могут быть использованы при решении задач расчета параметров газового демпфирования планарных ЧЭ различных датчиков физических величин. |
| format |
Article |
| author |
Черняк, Н.Г. Стеценко, О.В. |
| author_facet |
Черняк, Н.Г. Стеценко, О.В. |
| author_sort |
Черняк, Н.Г. |
| title |
Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров |
| title_short |
Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров |
| title_full |
Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров |
| title_fullStr |
Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров |
| title_full_unstemmed |
Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров |
| title_sort |
решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2001 |
| topic_facet |
Сенсоэлектроника |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70894 |
| citation_txt |
Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров / Н.Г. Черняк, О.В. Стеценко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 43-46. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT černâkng rešeniezadačigazovogodempfirovaniâčuvstvitelʹnyhélementovmikroélektronnyhakselerometrov AT stecenkoov rešeniezadačigazovogodempfirovaniâčuvstvitelʹnyhélementovmikroélektronnyhakselerometrov |
| first_indexed |
2023-10-18T18:59:32Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:59:32Z |
| _version_ |
1796145711464579072 |