Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии
В работе исследованы зондовые методы построения наноэлектронных приборов и их диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии. Рассмотрены пути повышения информативности измерений распределений зарядов и потенциалов в процессе получения элементов наноструктур....
Збережено в:
| Дата: | 2011 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2011
|
| Назва видання: | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/74588 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии / Н.И. Ходаковский, С.Ю. Ларкин, Г.Г. Галстян // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2011. — Т. 9, № 3. — С. 535-542. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-74588 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-745882015-01-22T03:02:41Z Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии Ходаковский, Н.И. Ларкин, С.Ю. Галстян, Г.Г. В работе исследованы зондовые методы построения наноэлектронных приборов и их диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии. Рассмотрены пути повышения информативности измерений распределений зарядов и потенциалов в процессе получения элементов наноструктур. У роботі досліджено зондові методи побудови наноелектронних приладів та їх діягностики з використанням електростатичної силової мікроскопії. Розглянуто шляхи підвищення інформативности мірянь розподілів зарядів і потенціялів у процесі одержання елементів наноструктур. Probe methods for nanoelectronic devices design and their diagnostics using electrostatic force microscopy are studied. The ways of increasing of information capability of measurements of the charge and potentials distributions in the process of formation of nanostructure elements are analysed. 2011 Article Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии / Н.И. Ходаковский, С.Ю. Ларкин, Г.Г. Галстян // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2011. — Т. 9, № 3. — С. 535-542. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 1816-5230 PACS numbers: 07.79.-v, 68.37.-d, 81.16.Rf, 81.16.Ta, 85.35.-p http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/74588 ru Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
В работе исследованы зондовые методы построения наноэлектронных приборов и их диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии. Рассмотрены пути повышения информативности измерений распределений зарядов и потенциалов в процессе получения элементов наноструктур. |
| format |
Article |
| author |
Ходаковский, Н.И. Ларкин, С.Ю. Галстян, Г.Г. |
| spellingShingle |
Ходаковский, Н.И. Ларкин, С.Ю. Галстян, Г.Г. Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| author_facet |
Ходаковский, Н.И. Ларкин, С.Ю. Галстян, Г.Г. |
| author_sort |
Ходаковский, Н.И. |
| title |
Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии |
| title_short |
Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии |
| title_full |
Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии |
| title_fullStr |
Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии |
| title_full_unstemmed |
Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии |
| title_sort |
исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии |
| publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| publishDate |
2011 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/74588 |
| citation_txt |
Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии / Н.И. Ходаковский, С.Ю. Ларкин, Г.Г. Галстян // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2011. — Т. 9, № 3. — С. 535-542. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| series |
Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| work_keys_str_mv |
AT hodakovskijni issledovaniezondovyhmetodovpolučeniâélementovnanoélektronnyhpriborovitehnologiidiagnostikisispolʹzovaniemélektrostatičeskojsilovojmikroskopii AT larkinsû issledovaniezondovyhmetodovpolučeniâélementovnanoélektronnyhpriborovitehnologiidiagnostikisispolʹzovaniemélektrostatičeskojsilovojmikroskopii AT galstângg issledovaniezondovyhmetodovpolučeniâélementovnanoélektronnyhpriborovitehnologiidiagnostikisispolʹzovaniemélektrostatičeskojsilovojmikroskopii |
| first_indexed |
2023-10-18T19:07:38Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:07:38Z |
| _version_ |
1796146075402240000 |