Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000

Разработана параллельная реализация моделирования процессов фотолитографии для применения на суперкомпьютере СКИФ К-1000. Использование параллельных средств вычисления позволило получить хорошие результаты по ускорению процесса формирования изображения в слое фоторезиста и последующего автоматиче...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2008
Автори:	Дудкин, А.А., Инютин, А.В., Отвагин, А.В.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Інститут проблем штучного інтелекту МОН України та НАН України 2008
Теми:	Распознавание образов. Системы цифровой обработки сигналов и изображений
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7477
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000 / А.А. Дудкин, А.В. Инютин, А.В. Отвагин // Штучний інтелект. — 2008. — № 4. — С. 348-352. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-7477
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-74772010-04-01T12:01:50Z Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000 Дудкин, А.А. Инютин, А.В. Отвагин, А.В. Распознавание образов. Системы цифровой обработки сигналов и изображений Разработана параллельная реализация моделирования процессов фотолитографии для применения на суперкомпьютере СКИФ К-1000. Использование параллельных средств вычисления позволило получить хорошие результаты по ускорению процесса формирования изображения в слое фоторезиста и последующего автоматического контроля оригиналов топологии. Розроблена паралельна реалізація моделювання процесів фотолітографії для застосування на суперкомп’ютері СКІФ К-1000. Використання паралельних засобів обчислення дозволило одержати добрі результати з прискорення процесу формування зображення в шарі фоторезиста і подальшого автоматичного контролю оригіналів топології. The parallel realization of modeling of photolithography processes was developed for application on supercomputer SKIF К-1000. Parallel means of calculation have allowed accelerating of image generation process in a photoresist layer and the subsequent automatic mask inspection. 2008 Article Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000 / А.А. Дудкин, А.В. Инютин, А.В. Отвагин // Штучний інтелект. — 2008. — № 4. — С. 348-352. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 1561-5359 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7477 535.317:004.22 ru Інститут проблем штучного інтелекту МОН України та НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
topic	Распознавание образов. Системы цифровой обработки сигналов и изображений Распознавание образов. Системы цифровой обработки сигналов и изображений
spellingShingle	Распознавание образов. Системы цифровой обработки сигналов и изображений Распознавание образов. Системы цифровой обработки сигналов и изображений Дудкин, А.А. Инютин, А.В. Отвагин, А.В. Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000
description	Разработана параллельная реализация моделирования процессов фотолитографии для применения на суперкомпьютере СКИФ К-1000. Использование параллельных средств вычисления позволило получить хорошие результаты по ускорению процесса формирования изображения в слое фоторезиста и последующего автоматического контроля оригиналов топологии.
format	Article
author	Дудкин, А.А. Инютин, А.В. Отвагин, А.В.
author_facet	Дудкин, А.А. Инютин, А.В. Отвагин, А.В.
author_sort	Дудкин, А.А.
title	Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000
title_short	Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000
title_full	Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000
title_fullStr	Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000
title_full_unstemmed	Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000
title_sort	моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере скиф к-1000
publisher	Інститут проблем штучного інтелекту МОН України та НАН України
publishDate	2008
topic_facet	Распознавание образов. Системы цифровой обработки сигналов и изображений
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7477
citation_txt	Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000 / А.А. Дудкин, А.В. Инютин, А.В. Отвагин // Штучний інтелект. — 2008. — № 4. — С. 348-352. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
work_keys_str_mv	AT dudkinaa modelirovanieprocessovfotolitografiinasuperkompʹûtereskifk1000 AT inûtinav modelirovanieprocessovfotolitografiinasuperkompʹûtereskifk1000 AT otvaginav modelirovanieprocessovfotolitografiinasuperkompʹûtereskifk1000
first_indexed	2023-10-18T16:37:37Z
last_indexed	2023-10-18T16:37:37Z
_version_	1796139473485955072

Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000

Репозитарії

Схожі ресурси