Анализ наношероховатостей подложек с использованием левитирующих электронов над сверхтекучей плёнкой гелия
Описано устройство для исследования наношероховатостей подложек путём анализа проводимости левитирующих электронов над плёнкой жидкого гелия в зависимости от её толщины. Устройство представляет собой камеру для сверхтекучего гелия и измерительную ячейку с подложкой, горизонтально расположенной над и...
Збережено в:
| Дата: | 2011 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2011
|
| Назва видання: | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/75186 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Анализ наношероховатостей подложек с использованием левитирующих электронов над сверхтекучей плёнкой гелия / А.В. Смородин, В.А. Николаенко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2011. — Т. 9, № 4. — С. 849-854. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-75186 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-751862015-01-28T03:02:28Z Анализ наношероховатостей подложек с использованием левитирующих электронов над сверхтекучей плёнкой гелия Смородин, А.В. Николаенко, В.А. Описано устройство для исследования наношероховатостей подложек путём анализа проводимости левитирующих электронов над плёнкой жидкого гелия в зависимости от её толщины. Устройство представляет собой камеру для сверхтекучего гелия и измерительную ячейку с подложкой, горизонтально расположенной над измерительными электродами, которые в вертикальном направлении перемещаются с помощью электромеханической тяги. По характеристикам переноса электронов имеется возможность идентифицировать наношероховатости размером от единиц ангстремов при ненасыщенной гелиевой плёнке до 10² нм при насыщенной плёнке гелия. Описано пристрій для дослідження наношерсткостей підкладок шляхом аналізи провідности електронів, що левітують над плівкою рідкого гелію, залежно від її товщини. Пристрій є камерою для надплинного гелію і вимірювальною коміркою з підкладкою, горизонтально розташованою над вимірювальними електродами, які у вертикальному напрямку переміщуються за допомогою електромеханічного тягу. За характеристиками переносу електронів є можливість ідентифікувати наношерсткості розміром від одиниць Онґштремів (при ненасиченій гелійовій плівці) до 10² нм (при насиченій плівці гелію). The device for study of nanoroughness of substrates by the analysis of conductivity of electrons levitating above a helium film as a function of film thickness is described. The device contains the chamber for superfluid helium and a measuring cell with substrate horizontally positioned above measuring electrodes, which are moved in a vertical direction by electromechanical draught. Using measured electron-transport characteristics, one can identify nanoroughness from angstrom range (for an unsaturated helium film) to 10² nanometers (for a saturated helium film). 2011 Article Анализ наношероховатостей подложек с использованием левитирующих электронов над сверхтекучей плёнкой гелия / А.В. Смородин, В.А. Николаенко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2011. — Т. 9, № 4. — С. 849-854. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. 1816-5230 PACS numbers: 67.25.-k, 67.30.-n, 67.80.-s, 68.35.Ct, 73.25.+i, 73.90.+f, 85.30.De http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/75186 ru Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Описано устройство для исследования наношероховатостей подложек путём анализа проводимости левитирующих электронов над плёнкой жидкого гелия в зависимости от её толщины. Устройство представляет собой камеру для сверхтекучего гелия и измерительную ячейку с подложкой, горизонтально расположенной над измерительными электродами, которые в вертикальном направлении перемещаются с помощью электромеханической тяги. По характеристикам переноса электронов имеется возможность идентифицировать наношероховатости размером от единиц ангстремов при ненасыщенной гелиевой плёнке до 10² нм при насыщенной плёнке гелия. |
| format |
Article |
| author |
Смородин, А.В. Николаенко, В.А. |
| spellingShingle |
Смородин, А.В. Николаенко, В.А. Анализ наношероховатостей подложек с использованием левитирующих электронов над сверхтекучей плёнкой гелия Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| author_facet |
Смородин, А.В. Николаенко, В.А. |
| author_sort |
Смородин, А.В. |
| title |
Анализ наношероховатостей подложек с использованием левитирующих электронов над сверхтекучей плёнкой гелия |
| title_short |
Анализ наношероховатостей подложек с использованием левитирующих электронов над сверхтекучей плёнкой гелия |
| title_full |
Анализ наношероховатостей подложек с использованием левитирующих электронов над сверхтекучей плёнкой гелия |
| title_fullStr |
Анализ наношероховатостей подложек с использованием левитирующих электронов над сверхтекучей плёнкой гелия |
| title_full_unstemmed |
Анализ наношероховатостей подложек с использованием левитирующих электронов над сверхтекучей плёнкой гелия |
| title_sort |
анализ наношероховатостей подложек с использованием левитирующих электронов над сверхтекучей плёнкой гелия |
| publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| publishDate |
2011 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/75186 |
| citation_txt |
Анализ наношероховатостей подложек с использованием левитирующих электронов над сверхтекучей плёнкой гелия / А.В. Смородин, В.А. Николаенко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2011. — Т. 9, № 4. — С. 849-854. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
| series |
Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| work_keys_str_mv |
AT smorodinav analiznanošerohovatostejpodložeksispolʹzovaniemlevitiruûŝihélektronovnadsverhtekučejplënkojgeliâ AT nikolaenkova analiznanošerohovatostejpodložeksispolʹzovaniemlevitiruûŝihélektronovnadsverhtekučejplënkojgeliâ |
| first_indexed |
2023-10-18T19:09:00Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:09:00Z |
| _version_ |
1796146132807581696 |