Покрытия из нанопористого анодного оксида алюминия для сенсорных применений

• Дата: 2014
• Автори: Войтович, И.Д., Лебедева, Т.С., Шпилевой, П.Б., Беднов, Н.В.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2014
• Назва видання: Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/75961
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Покрытия из нанопористого анодного оксида алюминия для сенсорных применений / И.Д. Войтович, Т.С. Лебедева, П.Б. Шпилевой, Н.В. Беднов // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2014. — Т. 12, № 1. — С. 169-180. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Описана разработка технологии тонкоплёночных сенсорных покрытий из пористого анодного оксида алюминия (ПАОА), выращенного на плёнках алюминия на стеклянных подложках, включающей контроль кривых отражения волноводных сенсорных структур на металлическом подслое (ВСМП) ПАОА–Al в процессе анодного окисления и растравливания пор. Приведены результаты моделирования оптических характеристик ВСМП в процессе их изготовления. Представлены также результаты исследований полученных нанопористых покрытий методом СЭМ и данные тестовых иммунохимических исследований на ВСМП ПАОА–Al. Описанная разработка выполнена для развития оптических биосенсоров на ВСМП, но может быть применена для создания нанопористых покрытий из ПАОА для других видов высокочувствительных сенсоров.