2025-02-23T16:22:19-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-75976%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T16:22:19-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-75976%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T16:22:19-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T16:22:19-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Синтез и исследование силикатных золь–гель-покрытий для микро- и наноэлектроники

Синтез и исследование силикатных золь–гель-покрытий для микро- и наноэлектроники

В работе рассмотрена возможность создания диэлектрических SiO2 - покрытий на основе золь–гель-метода путём гидролиза металлоорганических соединений кремния в водно-спиртовой смеси. Описаны оптимальные параметры нанесения и термообработки для получения однородных покрытий на поверхности монокриста...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Васькевич, В.В., Гайшун, В.Е., Коваленко, Д.Л.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2014
Series:Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/75976
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/75976

Similar Items