Синтез и исследование силикатных золь–гель-покрытий для микро- и наноэлектроники

В работе рассмотрена возможность создания диэлектрических SiO2 - покрытий на основе золь–гель-метода путём гидролиза металлоорганических соединений кремния в водно-спиртовой смеси. Описаны оптимальные параметры нанесения и термообработки для получения однородных покрытий на поверхности монокриста...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2014
Автори: Васькевич, В.В., Гайшун, В.Е., Коваленко, Д.Л.
Формат: Стаття
Мова:Ukrainian
Опубліковано: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2014
Назва видання:Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/75976
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Синтез и исследование силикатных золь–гель-покрытий для микро- и наноэлектроники / В.В. Васькевич, В.Е. Гайшун, Д.Л. Коваленко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2014. — Т. 12, № 2. — С. 279-293. — Бібліогр.: 5 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine