Характерные особенности формирования структуры, состава и свойств пленок диборидов переходных металлов pvd-методами

• Дата: 2011
• Автор: Гончаров, А.А.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2011
• Назва видання: Физическая инженерия поверхности
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/75996
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Характерные особенности формирования структуры, состава и свойств пленок диборидов переходных металлов pvd-методами / А.А. Гончаров // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 1. — С. 4-14. — Бібліогр.: 41 назв. — рос.

Проведен анализ характерных особенностей формирования структуры, состава и свойств плёнок диборидов переходных металлов в аморфном, кластерном и нанокристаллическом состояниях. Показано, что наиболее характерной морфологической особенностью формирования пленок диборидов переходных металлов является (колумнарная) столбчатая структура с текcтурой роста плоскостью (00,1), при этом происходит формирование стехиометрических или сверхстехиометрических покрытий с размерами зерна не менее 20 нм. Если энергии, поставляемой растущей пленке было недостаточно, чтобы стимулировать ее кристаллизацию, то происходит формирование покрытия в кластерном или аморфном состояниях. Анализ физико-механических характеристик показал, что нанокристаллические пленки по своим показателям намного превосходили кластерные или аморфные. Причем, наивысшие значения имели сверхстехиометрические (В/Ме ≈ 2,4) нанокристаллические пленки, что дает возможность судить об определяющей роли химической связи В-В при их синтезе.