Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий
Получены высокотвердые вакуумно-дуговые Mo-N покрытия, проведены исследования зависимости их твердости от давления азота при испарении молибдена в установке “Булат-6” с магнитным полем в области испаряемого катода. Показано, что их твердость может достигать 55 ГПа, при этом на нее существенное влиян...
Збережено в:
| Дата: | 2011 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2011
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/75997 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий / А.А. Андреев, О.В. Соболь, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой, И.В. Сердюк // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 1. — С. 15–20. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Резюме: | Получены высокотвердые вакуумно-дуговые Mo-N покрытия, проведены исследования зависимости их твердости от давления азота при испарении молибдена в установке “Булат-6” с магнитным полем в области испаряемого катода. Показано, что их твердость может достигать 55 ГПа, при этом на нее существенное влияние оказывает величина потенциала подложки. Подача на подложку высоковольтных импульсов в процессе осаждения увеличивает твердость покрытий. Высокотвердые покрытия содержат фазы β-Mo₂ N с тетрагональной кристаллической решеткой и γ-Mo₂ N с кубической решеткой, а также обладают относительно низким коэффициентом трения. |
|---|