Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий
Получены высокотвердые вакуумно-дуговые Mo-N покрытия, проведены исследования зависимости их твердости от давления азота при испарении молибдена в установке “Булат-6” с магнитным полем в области испаряемого катода. Показано, что их твердость может достигать 55 ГПа, при этом на нее существенное влиян...
Збережено в:
| Дата: | 2011 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2011
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/75997 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий / А.А. Андреев, О.В. Соболь, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой, И.В. Сердюк // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 1. — С. 15–20. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-75997 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-759972015-02-08T03:01:03Z Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий Андреев, А.А. Соболь, О.В. Горбань, В.Ф. Столбовой, В.А. Сердюк, И.В. Получены высокотвердые вакуумно-дуговые Mo-N покрытия, проведены исследования зависимости их твердости от давления азота при испарении молибдена в установке “Булат-6” с магнитным полем в области испаряемого катода. Показано, что их твердость может достигать 55 ГПа, при этом на нее существенное влияние оказывает величина потенциала подложки. Подача на подложку высоковольтных импульсов в процессе осаждения увеличивает твердость покрытий. Высокотвердые покрытия содержат фазы β-Mo₂ N с тетрагональной кристаллической решеткой и γ-Mo₂ N с кубической решеткой, а также обладают относительно низким коэффициентом трения. Отримані високотверді вакуумно-дугові Mo-N покриття, проведені дослідження залежності їхньої твердості від тиску азоту при випаровуванні молібдену в установці “Булат-6” з магнітним полем в області катоду, що випарюється. Показано, що їхня твердість може досягати 55 ГПа, при цьому на неї істотний вплив дає величина потенціалу підкладки. Подача на підкладку високовольтних імпульсів у процесі осадження збільшує твердість покриттів. Високотверді покриття містять фази β-Mo₂ N з тетрагональною кристалічною ґраткою і γ-Mo₂ N з кубічною ґраткою, а також мають відносно низький коефіцієнт тертя. Very hard vacuum-arc Mo-N coatings were obtained, the dependence of their hardness on the nitrogen pressure during evaporation in vacuum plant “Bulat-6” with magnetic field in the area of evaporated cathode was studied. It is shown that coatings hardness can reach 55 GPa, while it is significantly affected by the value of the substrate potential. Very hard vacuum-arc coatings contain phase’s β-Mo₂ N with a tetragonal crystal lattice and γ-Mo₂ N with a cubic lattice, and also have high adhesion and relatively low coefficient of friction. 2011 Article Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий / А.А. Андреев, О.В. Соболь, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой, И.В. Сердюк // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 1. — С. 15–20. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/75997 621.793.7 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Получены высокотвердые вакуумно-дуговые Mo-N покрытия, проведены исследования зависимости их твердости от давления азота при испарении молибдена в установке “Булат-6” с магнитным полем в области испаряемого катода. Показано, что их твердость может достигать 55 ГПа, при этом на нее существенное влияние оказывает величина потенциала подложки. Подача на подложку высоковольтных импульсов в процессе осаждения увеличивает твердость покрытий. Высокотвердые покрытия содержат фазы β-Mo₂ N с тетрагональной кристаллической решеткой и γ-Mo₂ N с кубической решеткой, а также обладают относительно низким коэффициентом трения. |
| format |
Article |
| author |
Андреев, А.А. Соболь, О.В. Горбань, В.Ф. Столбовой, В.А. Сердюк, И.В. |
| spellingShingle |
Андреев, А.А. Соболь, О.В. Горбань, В.Ф. Столбовой, В.А. Сердюк, И.В. Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий Физическая инженерия поверхности |
| author_facet |
Андреев, А.А. Соболь, О.В. Горбань, В.Ф. Столбовой, В.А. Сердюк, И.В. |
| author_sort |
Андреев, А.А. |
| title |
Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий |
| title_short |
Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий |
| title_full |
Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий |
| title_fullStr |
Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий |
| title_full_unstemmed |
Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий |
| title_sort |
получение вакуумно-дуговых высокотвердых mo-n покрытий |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2011 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/75997 |
| citation_txt |
Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий / А.А. Андреев, О.В. Соболь, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой, И.В. Сердюк // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 1. — С. 15–20. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
| series |
Физическая инженерия поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT andreevaa polučenievakuumnodugovyhvysokotverdyhmonpokrytij AT sobolʹov polučenievakuumnodugovyhvysokotverdyhmonpokrytij AT gorbanʹvf polučenievakuumnodugovyhvysokotverdyhmonpokrytij AT stolbovojva polučenievakuumnodugovyhvysokotverdyhmonpokrytij AT serdûkiv polučenievakuumnodugovyhvysokotverdyhmonpokrytij |
| first_indexed |
2023-10-18T19:09:54Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:09:54Z |
| _version_ |
1796146176812122112 |