Affects deposition time and substrate temperature on optical properties of ZnO thin film
ZnO thin films have been prepared with different processes such as pulsed-laser deposition, chemical vapor deposition spray pyrolysis and sol-gel process etc. Among them, chemical vapor deposition (CVD), in this paper we will study the effect of, deposition time and temperature of the substrates. Th...
Збережено в:
| Дата: | 2011 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2011
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/75998 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Affects deposition time and substrate temperature on optical properties of zno thin film / A.D. Pogrebnyak, N.Y. Jameel, G.A-K.M. Mommed // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 1. — С. 21-24. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-75998 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-759982015-02-08T03:01:45Z Affects deposition time and substrate temperature on optical properties of ZnO thin film Pogrebnyak, A.D. Jameel, N.Y. Mommed, G.A-K.M. ZnO thin films have been prepared with different processes such as pulsed-laser deposition, chemical vapor deposition spray pyrolysis and sol-gel process etc. Among them, chemical vapor deposition (CVD), in this paper we will study the effect of, deposition time and temperature of the substrates. The temperatures of substrate was varied as was the deposition time of ZnO in order to determine the best substrate temperature and deposition time to produce the best physical properties of deposition. using pure zinc acetate hydrous Zn(Ch₃COO)₂⋅2H₂0 with 98% purity. The best deposition time was found to be (20 min) while the best temperature degree was (500 °C). ZnO тонких плівок були підготовлені з різними процесами, такими як імпульсного лазерного осадження, хімічного осадження парів ПІРОЛІЗ і золь-гель процесу і т.д. Серед них, хімічне осадження парів (CVD), в цій статті ми будемо вивчати вплив, час осадження і температури підкладки. Температура підкладки варіювалася як було часу осадження з ZnO з метою визначення кращих температур підкладки та осадження час, щоб зробити найкращі фізичні властивості осадження, з використанням чистого цинку ацетат водний Zn(Ch₃COO)₂⋅2H₂ з 98% чистоти. Кращий час осадження виявиться (20 хв), а найкраща температура мірою була (500 °С). ZnO тонких пленок были подготовлены с различными процессами, такими как импульсного лазерного осаждения, химического осаждения паров ПИРОЛИЗОМ и золь-гель процесса и т.д. Среди них, химическое осаждение паров (CVD), в этой статье мы будем изучать влияние, время осаждения и температуры подложки. Температура подложки варьировалась как было времени осаждения из ZnO с целью определения лучших температуры подложки и осаждения время, чтобы произвести самые лучшие физические свойства осаждения. с использованием чистого цинка ацетат водный Zn(Ch₃COO)₂⋅2H₂ с 98% чистоты. Лучшее время осаждения оказалось (20 мин), а лучшая температура степени была (500 °С). 2011 Article Affects deposition time and substrate temperature on optical properties of zno thin film / A.D. Pogrebnyak, N.Y. Jameel, G.A-K.M. Mommed // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 1. — С. 21-24. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/75998 621.715.539.376 en Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| description |
ZnO thin films have been prepared with different processes such as pulsed-laser deposition, chemical vapor deposition spray pyrolysis and sol-gel process etc. Among them, chemical vapor deposition (CVD), in this paper we will study the effect of, deposition time and temperature of the substrates. The temperatures of substrate was varied as was the deposition time of ZnO in order to determine the best substrate temperature and deposition time to produce the best physical properties of deposition.
using pure zinc acetate hydrous Zn(Ch₃COO)₂⋅2H₂0 with 98% purity. The best deposition time was found to be (20 min) while the best temperature degree was (500 °C). |
| format |
Article |
| author |
Pogrebnyak, A.D. Jameel, N.Y. Mommed, G.A-K.M. |
| spellingShingle |
Pogrebnyak, A.D. Jameel, N.Y. Mommed, G.A-K.M. Affects deposition time and substrate temperature on optical properties of ZnO thin film Физическая инженерия поверхности |
| author_facet |
Pogrebnyak, A.D. Jameel, N.Y. Mommed, G.A-K.M. |
| author_sort |
Pogrebnyak, A.D. |
| title |
Affects deposition time and substrate temperature on optical properties of ZnO thin film |
| title_short |
Affects deposition time and substrate temperature on optical properties of ZnO thin film |
| title_full |
Affects deposition time and substrate temperature on optical properties of ZnO thin film |
| title_fullStr |
Affects deposition time and substrate temperature on optical properties of ZnO thin film |
| title_full_unstemmed |
Affects deposition time and substrate temperature on optical properties of ZnO thin film |
| title_sort |
affects deposition time and substrate temperature on optical properties of zno thin film |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2011 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/75998 |
| citation_txt |
Affects deposition time and substrate temperature on optical properties of zno thin film / A.D. Pogrebnyak, N.Y. Jameel, G.A-K.M. Mommed // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 1. — С. 21-24. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
| series |
Физическая инженерия поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT pogrebnyakad affectsdepositiontimeandsubstratetemperatureonopticalpropertiesofznothinfilm AT jameelny affectsdepositiontimeandsubstratetemperatureonopticalpropertiesofznothinfilm AT mommedgakm affectsdepositiontimeandsubstratetemperatureonopticalpropertiesofznothinfilm |
| first_indexed |
2023-10-18T19:09:54Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:09:54Z |
| _version_ |
1796146176918028288 |