2025-02-23T22:25:03-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-76340%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T22:25:03-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-76340%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T22:25:03-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T22:25:03-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Феноменологічний підхід до аналізи радіяційних ефектів при проєктуванні субмікронних структур біполярних ІС
При взаємодії корпускулярного і електромагнетного випромінення з твердим тілом (структурою ІС) відбувається пересилання енергії останньому, в результаті чого змінюються його властивості. Характер взаємодії і ефекти, що при цьому виявляються, в загальному випадку визначаються видом випромінення, йо...
Saved in:
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2009
|
| Series: | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76340 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Summary: | При взаємодії корпускулярного і електромагнетного випромінення з твердим тілом (структурою ІС) відбувається пересилання енергії останньому, в
результаті чого змінюються його властивості. Характер взаємодії і ефекти,
що при цьому виявляються, в загальному випадку визначаються видом випромінення, його енергією та інтенсивністю, видом структур ІС, які при
цьому опромінюються. Дані радіяційні дослідження можуть лягти в основу
побудови радіяційно-тривкої технології для формування як біполярних,
так і польових структур ІС. Детально проаналізовано радіяційні ефекти в
структурах із субмікронними глибинами залягання p—n-переходів та з ізопланарною діелектричною ізоляцією. |
|---|