Феноменологічний підхід до аналізи радіяційних ефектів при проєктуванні субмікронних структур біполярних ІС
При взаємодії корпускулярного і електромагнетного випромінення з твердим тілом (структурою ІС) відбувається пересилання енергії останньому, в результаті чого змінюються його властивості. Характер взаємодії і ефекти, що при цьому виявляються, в загальному випадку визначаються видом випромінення, йо...
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2009
|
| Назва видання: | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76340 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Феноменологічний підхід до аналізи радіяційних ефектів при проєктуванні субмікронних структур біполярних ІС / С.П. Новосядлий, В.М. Бережанський // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 1. — С. 73-120. — Бібліогр.: 31 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Резюме: | При взаємодії корпускулярного і електромагнетного випромінення з твердим тілом (структурою ІС) відбувається пересилання енергії останньому, в
результаті чого змінюються його властивості. Характер взаємодії і ефекти,
що при цьому виявляються, в загальному випадку визначаються видом випромінення, його енергією та інтенсивністю, видом структур ІС, які при
цьому опромінюються. Дані радіяційні дослідження можуть лягти в основу
побудови радіяційно-тривкої технології для формування як біполярних,
так і польових структур ІС. Детально проаналізовано радіяційні ефекти в
структурах із субмікронними глибинами залягання p—n-переходів та з ізопланарною діелектричною ізоляцією. |
|---|