Характиристики вакуумно-дуговых покрытий из чередующихся слоев TiN/ TiNCu
Исследованы характеристики вакуумно-дуговых покрытий, состоящих из чередующихся слоев TiN и слоев TiN, легированных Сu при одновременной работе источника с титановым катодом в постоянном режиме, а с медным катодом в импульсном. Установлено, что с ростом концентрации Cu от 0,3 до 34 вес.% размер ОКР...
Збережено в:
| Дата: | 2011 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2011
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76347 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Характиристики вакуумно-дуговых покрытий из чередующихся слоев TiN/ TiNCu / В.М. Лунёв, И.П. Непипенко, Е.Н. Решетняк, И.В. Колодий // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 2. — С. 125–133. — Бібліогр.: 21 назв. — рос. |