Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния

Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния

Методом рентгеновского диффузного рассеяния на длине волны 0,154 нм проведено исследование шероховатости и перемешивания на границах раздела многослойных пленочных композиций Cr/Sc и Co/C с периодами ~ 5 – 7 нм, полученных методом магнетронного распыления. Исследовано влияние на структуру границ раз...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2011
Автори: Журавель, И.А., Бугаев, Е.А., Девизенко, А.Ю., Першин, Ю.П., Кондратенко, В.В.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2011
Назва видання:Физическая инженерия поверхности
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76349
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния / И.А. Журавель, Е.А. Бугаев, А.Ю. Девизенко, Ю.П. Першин, В.В. Кондратенко // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 2. — С. 134–141. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-76349
record_format dspace
spelling irk-123456789-763492015-02-10T03:02:41Z Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния Журавель, И.А. Бугаев, Е.А. Девизенко, А.Ю. Першин, Ю.П. Кондратенко, В.В. Методом рентгеновского диффузного рассеяния на длине волны 0,154 нм проведено исследование шероховатости и перемешивания на границах раздела многослойных пленочных композиций Cr/Sc и Co/C с периодами ~ 5 – 7 нм, полученных методом магнетронного распыления. Исследовано влияние на структуру границ раздела композиций Co/C часового отжига в интервале температур 100 – 330 °С. Полученные статистические характеристики шероховатости границ раздела позволяют предсказать рентгенооптические характеристики многослойных композиций, применяемых в рентгеновской оптике в диапазоне длин волн 3 – 5 нм. Методом рентгенівського дифузного розсіювання на довжині хвилі 0,154 нм проведено дослідження шорсткості та перемішування на межах поділу багатошарових плівкових композицій Cr/Sc та Co/C із періодами ~ 5 – 7 нм, отриманих методом магнетронного розпилення при постійному струмі. Досліджений вплив на структуру меж поділу композицій Co/C годинного відпалу в інтервалі температур 100 – 330 °С. Отримані статистичні характеристики шорсткості меж поділу дозволяють передбачити рентгенооптичні характеристики багатошарових композицій, що використовуються у рентгенівській оптиці у діапазоні довжин хвиль 3 – 5 нм. Study of the interface roughness and diffuseness of the Cr/Sc and Co/C multilayer with ~ 5 – 7 nm the periods on 0,154 wavelength obtained by DC magnetron sputtering has been conducted by X-ray diffuse scattering method. Influence of hour time annealing in 100 – 330 °С temperature range on the Co/C interface structure has been established. Obtained statistical characteristics of interface roughness are useful to forecast X-ray optic characteristics of multilayers using in X-ray optics in 3 – 5 nm wavelength range. 2011 Article Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния / И.А. Журавель, Е.А. Бугаев, А.Ю. Девизенко, Ю.П. Першин, В.В. Кондратенко // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 2. — С. 134–141. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76349 536.248.1; 539.26; 538.971 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
description Методом рентгеновского диффузного рассеяния на длине волны 0,154 нм проведено исследование шероховатости и перемешивания на границах раздела многослойных пленочных композиций Cr/Sc и Co/C с периодами ~ 5 – 7 нм, полученных методом магнетронного распыления. Исследовано влияние на структуру границ раздела композиций Co/C часового отжига в интервале температур 100 – 330 °С. Полученные статистические характеристики шероховатости границ раздела позволяют предсказать рентгенооптические характеристики многослойных композиций, применяемых в рентгеновской оптике в диапазоне длин волн 3 – 5 нм.
format Article
author Журавель, И.А.
Бугаев, Е.А.
Девизенко, А.Ю.
Першин, Ю.П.
Кондратенко, В.В.
spellingShingle Журавель, И.А.
Бугаев, Е.А.
Девизенко, А.Ю.
Першин, Ю.П.
Кондратенко, В.В.
Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния
Физическая инженерия поверхности
author_facet Журавель, И.А.
Бугаев, Е.А.
Девизенко, А.Ю.
Першин, Ю.П.
Кондратенко, В.В.
author_sort Журавель, И.А.
title Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния
title_short Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния
title_full Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния
title_fullStr Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния
title_full_unstemmed Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния
title_sort исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях cr/sc и co/c методом рентгеновского диффузного рассеяния
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate 2011
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76349
citation_txt Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния / И.А. Журавель, Е.А. Бугаев, А.Ю. Девизенко, Ю.П. Першин, В.В. Кондратенко // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 2. — С. 134–141. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.
series Физическая инженерия поверхности
work_keys_str_mv AT žuravelʹia issledovaniestrukturymežsloevyhgranicrazdelavmnogoslojnyhperiodičeskihkompoziciâhcrscicocmetodomrentgenovskogodiffuznogorasseâniâ
AT bugaevea issledovaniestrukturymežsloevyhgranicrazdelavmnogoslojnyhperiodičeskihkompoziciâhcrscicocmetodomrentgenovskogodiffuznogorasseâniâ
AT devizenkoaû issledovaniestrukturymežsloevyhgranicrazdelavmnogoslojnyhperiodičeskihkompoziciâhcrscicocmetodomrentgenovskogodiffuznogorasseâniâ
AT peršinûp issledovaniestrukturymežsloevyhgranicrazdelavmnogoslojnyhperiodičeskihkompoziciâhcrscicocmetodomrentgenovskogodiffuznogorasseâniâ
AT kondratenkovv issledovaniestrukturymežsloevyhgranicrazdelavmnogoslojnyhperiodičeskihkompoziciâhcrscicocmetodomrentgenovskogodiffuznogorasseâniâ
first_indexed 2023-10-18T19:11:50Z
last_indexed 2023-10-18T19:11:50Z
_version_ 1796146259621314560

Схожі ресурси