Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния
Методом рентгеновского диффузного рассеяния на длине волны 0,154 нм проведено исследование шероховатости и перемешивания на границах раздела многослойных пленочных композиций Cr/Sc и Co/C с периодами ~ 5 – 7 нм, полученных методом магнетронного распыления. Исследовано влияние на структуру границ раз...
Збережено в:
Дата: | 2011 |
---|---|
Автори: | Журавель, И.А., Бугаев, Е.А., Девизенко, А.Ю., Першин, Ю.П., Кондратенко, В.В. |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2011
|
Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76349 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния / И.А. Журавель, Е.А. Бугаев, А.Ю. Девизенко, Ю.П. Першин, В.В. Кондратенко // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 2. — С. 134–141. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
-
Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц
за авторством: Першин, Ю.П., та інші
Опубліковано: (2013) -
Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния
за авторством: Коломиец, В.Н., та інші
Опубліковано: (2016) -
Структурно-фазовые превращения в многослойных периодических композициях W-B4C с периодом 2,5 НМ при нагреве
за авторством: Копылец, И.А., та інші
Опубліковано: (2011) -
Сверхпроводимость границ раздела полупроводниковых слоев в двухслойных и многослойных гетероструктурах типа АIVBVI
за авторством: Юзефович, О.И., та інші
Опубліковано: (2008) -
Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия
за авторством: Пеньков, А.В., та інші
Опубліковано: (2006)