2025-02-23T21:16:33-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-76413%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T21:16:33-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-76413%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T21:16:33-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T21:16:33-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света

Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света

Рассмотрены оптические характеристики сложных многослойных систем на основе кремния. Исследовано влияние структуры поликристаллических пленок с наноразмерными особенностями на характер угловых зависостей коэффициентов отражения Rp и Rs. Показано, что для интерпретации полученных экспериментальных р...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Барчук, О.И., Биленко, К.С., Голобородько, А.А., Курашов, В.Н., Оберемок, Е.А., Савенков, С.Н.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2009
Series:Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76413
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
id irk-123456789-76413
record_format dspace
spelling irk-123456789-764132015-10-31T21:00:45Z Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света Барчук, О.И. Биленко, К.С. Голобородько, А.А. Курашов, В.Н. Оберемок, Е.А. Савенков, С.Н. Рассмотрены оптические характеристики сложных многослойных систем на основе кремния. Исследовано влияние структуры поликристаллических пленок с наноразмерными особенностями на характер угловых зависостей коэффициентов отражения Rp и Rs. Показано, что для интерпретации полученных экспериментальных результатов во многих случаях можно использовать модель многократного рассеяния для слоистых структур. При расчетах необходимо учитывать поглощение в таких средах и усреднение по апертуре фотодетектора. Компьютерное моделирование показало, что наличие на подложке слоя окисла существенно меняет характер зависимостей для коэффициентов отражения. Наличие дополнительных экстремумов в вышеуказанных зависимостях связано с существованием интерферирующих волн, отраженных от границ с различными показателями преломления для системы воздух—поликристаллическая пленка—окисел—подложка. Розглянуто оптичні характеристики складних багатошарових систем на основі кремнію. Досліджено вплив структури полікристалічних плівок з нанорозмірними особливостями на характер кутових залежностей коефіцієнтів відбивання Rp и Rs. Показано, що для інтерпретації одержаних експериментальних даних в багатьох випадках доцільно використовувати модель багаторазового розсіяння для шаруватих структур. При розрахунках необхідно враховувати вбирання в таких середовищах і усереднення за апертурою фотодетектора. Комп’ютерне моделювання показало, що наявність на підложжі шару окису якісно змінює характер залежностей для коефіцієнтів відбивання. Наявність додаткових екстремумів у вищезазначених залежностях пов’язано з існуванням інтерферівних хвиль, що відбилися від межі з різними показниками заломлення для системи повітря—полікристалічна плівка—окис—підложжя. Optical characteristics of complex multilayer systems based on Si are studied.Influence of polysilicon-films structure with nanoscale features on behaviour of angular dependences for reflection coefficients, Rp and Rs, are investigated. As shown, the multiple-scattering model for multilayered structure could be used for interpretation of obtained experimental results. Absorption in such media and averaging over photodetector aperture should be taken into account at calculation. As shown in computer simulation, the presence of SiO2 layer on a substrate essentially changes behaviour of reflection-coefficients dependences. Presence of additional extremums on dependences is conditioned by the presence of interfering waves, which are reflected from boundaries with different refractive indexes for the system ‘air—polysilicon film—oxide—silicon— substrate’. 2009 Article Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света / О.И. Барчук, К.С. Биленко, А.А. Голобородько, В.Н. Курашов, Е.А. Оберемок, С.Н. Савенков // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 2. — С. 421-431. — Бібліогр.: 13 назв. — укр. 1816-5230 PACS numbers: 07.60.Hv,42.25.Gy,68.35.bg,68.55.J-,68.65.Ac,78.67.Pt,81.70.Fy http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76413 uk Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Ukrainian
description Рассмотрены оптические характеристики сложных многослойных систем на основе кремния. Исследовано влияние структуры поликристаллических пленок с наноразмерными особенностями на характер угловых зависостей коэффициентов отражения Rp и Rs. Показано, что для интерпретации полученных экспериментальных результатов во многих случаях можно использовать модель многократного рассеяния для слоистых структур. При расчетах необходимо учитывать поглощение в таких средах и усреднение по апертуре фотодетектора. Компьютерное моделирование показало, что наличие на подложке слоя окисла существенно меняет характер зависимостей для коэффициентов отражения. Наличие дополнительных экстремумов в вышеуказанных зависимостях связано с существованием интерферирующих волн, отраженных от границ с различными показателями преломления для системы воздух—поликристаллическая пленка—окисел—подложка.
format Article
author Барчук, О.И.
Биленко, К.С.
Голобородько, А.А.
Курашов, В.Н.
Оберемок, Е.А.
Савенков, С.Н.
spellingShingle Барчук, О.И.
Биленко, К.С.
Голобородько, А.А.
Курашов, В.Н.
Оберемок, Е.А.
Савенков, С.Н.
Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света
Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
author_facet Барчук, О.И.
Биленко, К.С.
Голобородько, А.А.
Курашов, В.Н.
Оберемок, Е.А.
Савенков, С.Н.
author_sort Барчук, О.И.
title Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света
title_short Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света
title_full Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света
title_fullStr Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света
title_full_unstemmed Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света
title_sort влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
publishDate 2009
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76413
citation_txt Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света / О.И. Барчук, К.С. Биленко, А.А. Голобородько, В.Н. Курашов, Е.А. Оберемок, С.Н. Савенков // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 2. — С. 421-431. — Бібліогр.: 13 назв. — укр.
series Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
work_keys_str_mv AT barčukoi vliâniestrukturypolikremnievyhplenoknaoptičeskieharakteristikiotražennogosveta
AT bilenkoks vliâniestrukturypolikremnievyhplenoknaoptičeskieharakteristikiotražennogosveta
AT goloborodʹkoaa vliâniestrukturypolikremnievyhplenoknaoptičeskieharakteristikiotražennogosveta
AT kurašovvn vliâniestrukturypolikremnievyhplenoknaoptičeskieharakteristikiotražennogosveta
AT oberemokea vliâniestrukturypolikremnievyhplenoknaoptičeskieharakteristikiotražennogosveta
AT savenkovsn vliâniestrukturypolikremnievyhplenoknaoptičeskieharakteristikiotražennogosveta
first_indexed 2023-10-18T19:12:04Z
last_indexed 2023-10-18T19:12:04Z
_version_ 1796146263055400960

Similar Items