Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света

Рассмотрены оптические характеристики сложных многослойных систем на основе кремния. Исследовано влияние структуры поликристаллических пленок с наноразмерными особенностями на характер угловых зависостей коэффициентов отражения Rp и Rs. Показано, что для интерпретации полученных экспериментальных р...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2009
Автори:	Барчук, О.И., Биленко, К.С., Голобородько, А.А., Курашов, В.Н., Оберемок, Е.А., Савенков, С.Н.
Формат:	Стаття
Мова:	Ukrainian
Опубліковано:	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2009
Назва видання:	Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76413
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света / О.И. Барчук, К.С. Биленко, А.А. Голобородько, В.Н. Курашов, Е.А. Оберемок, С.Н. Савенков // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 2. — С. 421-431. — Бібліогр.: 13 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-76413
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-764132015-10-31T21:00:45Z Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света Барчук, О.И. Биленко, К.С. Голобородько, А.А. Курашов, В.Н. Оберемок, Е.А. Савенков, С.Н. Рассмотрены оптические характеристики сложных многослойных систем на основе кремния. Исследовано влияние структуры поликристаллических пленок с наноразмерными особенностями на характер угловых зависостей коэффициентов отражения Rp и Rs. Показано, что для интерпретации полученных экспериментальных результатов во многих случаях можно использовать модель многократного рассеяния для слоистых структур. При расчетах необходимо учитывать поглощение в таких средах и усреднение по апертуре фотодетектора. Компьютерное моделирование показало, что наличие на подложке слоя окисла существенно меняет характер зависимостей для коэффициентов отражения. Наличие дополнительных экстремумов в вышеуказанных зависимостях связано с существованием интерферирующих волн, отраженных от границ с различными показателями преломления для системы воздух—поликристаллическая пленка—окисел—подложка. Розглянуто оптичні характеристики складних багатошарових систем на основі кремнію. Досліджено вплив структури полікристалічних плівок з нанорозмірними особливостями на характер кутових залежностей коефіцієнтів відбивання Rp и Rs. Показано, що для інтерпретації одержаних експериментальних даних в багатьох випадках доцільно використовувати модель багаторазового розсіяння для шаруватих структур. При розрахунках необхідно враховувати вбирання в таких середовищах і усереднення за апертурою фотодетектора. Комп’ютерне моделювання показало, що наявність на підложжі шару окису якісно змінює характер залежностей для коефіцієнтів відбивання. Наявність додаткових екстремумів у вищезазначених залежностях пов’язано з існуванням інтерферівних хвиль, що відбилися від межі з різними показниками заломлення для системи повітря—полікристалічна плівка—окис—підложжя. Optical characteristics of complex multilayer systems based on Si are studied.Influence of polysilicon-films structure with nanoscale features on behaviour of angular dependences for reflection coefficients, Rp and Rs, are investigated. As shown, the multiple-scattering model for multilayered structure could be used for interpretation of obtained experimental results. Absorption in such media and averaging over photodetector aperture should be taken into account at calculation. As shown in computer simulation, the presence of SiO2 layer on a substrate essentially changes behaviour of reflection-coefficients dependences. Presence of additional extremums on dependences is conditioned by the presence of interfering waves, which are reflected from boundaries with different refractive indexes for the system ‘air—polysilicon film—oxide—silicon— substrate’. 2009 Article Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света / О.И. Барчук, К.С. Биленко, А.А. Голобородько, В.Н. Курашов, Е.А. Оберемок, С.Н. Савенков // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 2. — С. 421-431. — Бібліогр.: 13 назв. — укр. 1816-5230 PACS numbers: 07.60.Hv,42.25.Gy,68.35.bg,68.55.J-,68.65.Ac,78.67.Pt,81.70.Fy http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76413 uk Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Ukrainian
description	Рассмотрены оптические характеристики сложных многослойных систем на основе кремния. Исследовано влияние структуры поликристаллических пленок с наноразмерными особенностями на характер угловых зависостей коэффициентов отражения Rp и Rs. Показано, что для интерпретации полученных экспериментальных результатов во многих случаях можно использовать модель многократного рассеяния для слоистых структур. При расчетах необходимо учитывать поглощение в таких средах и усреднение по апертуре фотодетектора. Компьютерное моделирование показало, что наличие на подложке слоя окисла существенно меняет характер зависимостей для коэффициентов отражения. Наличие дополнительных экстремумов в вышеуказанных зависимостях связано с существованием интерферирующих волн, отраженных от границ с различными показателями преломления для системы воздух—поликристаллическая пленка—окисел—подложка.
format	Article
author	Барчук, О.И. Биленко, К.С. Голобородько, А.А. Курашов, В.Н. Оберемок, Е.А. Савенков, С.Н.
spellingShingle	Барчук, О.И. Биленко, К.С. Голобородько, А.А. Курашов, В.Н. Оберемок, Е.А. Савенков, С.Н. Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
author_facet	Барчук, О.И. Биленко, К.С. Голобородько, А.А. Курашов, В.Н. Оберемок, Е.А. Савенков, С.Н.
author_sort	Барчук, О.И.
title	Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света
title_short	Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света
title_full	Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света
title_fullStr	Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света
title_full_unstemmed	Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света
title_sort	влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света
publisher	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
publishDate	2009
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76413
citation_txt	Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света / О.И. Барчук, К.С. Биленко, А.А. Голобородько, В.Н. Курашов, Е.А. Оберемок, С.Н. Савенков // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 2. — С. 421-431. — Бібліогр.: 13 назв. — укр.
series	Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
work_keys_str_mv	AT barčukoi vliâniestrukturypolikremnievyhplenoknaoptičeskieharakteristikiotražennogosveta AT bilenkoks vliâniestrukturypolikremnievyhplenoknaoptičeskieharakteristikiotražennogosveta AT goloborodʹkoaa vliâniestrukturypolikremnievyhplenoknaoptičeskieharakteristikiotražennogosveta AT kurašovvn vliâniestrukturypolikremnievyhplenoknaoptičeskieharakteristikiotražennogosveta AT oberemokea vliâniestrukturypolikremnievyhplenoknaoptičeskieharakteristikiotražennogosveta AT savenkovsn vliâniestrukturypolikremnievyhplenoknaoptičeskieharakteristikiotražennogosveta
first_indexed	2023-10-18T19:12:04Z
last_indexed	2023-10-18T19:12:04Z
_version_	1796146263055400960

Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света

Репозитарії

Схожі ресурси