Технологічні методи керування властивостями наноструктурованого кремнію

При формуванні наноструктурованого кремнію на підложжях монокристалічного кремнію відбувається зміна не тільки структурних властивостей, що призводить до зміни ширини забороненої зони і прояву квантоворозмірних ефектів, але й утворення на поверхні нових сполук кремнію з підвищеним вмістом водню й а...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2009
Автори: Білик, Т.Ю., Шмирєва, О.М., Мельниченко, М.М.
Формат: Стаття
Мова:Ukrainian
Опубліковано: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2009
Назва видання:Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76425
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Технологічні методи керування властивостями наноструктурованого кремнію / Т.Ю. Білик, О.М. Шмирєва, М.М. Мельниченко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 2. — С. 395-402. — Бібліогр.: 9 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-76425
record_format dspace
spelling irk-123456789-764252015-10-31T20:58:34Z Технологічні методи керування властивостями наноструктурованого кремнію Білик, Т.Ю. Шмирєва, О.М. Мельниченко, М.М. При формуванні наноструктурованого кремнію на підложжях монокристалічного кремнію відбувається зміна не тільки структурних властивостей, що призводить до зміни ширини забороненої зони і прояву квантоворозмірних ефектів, але й утворення на поверхні нових сполук кремнію з підвищеним вмістом водню й аморфного кремнію. Така складна структура обумовлює прояв нових електрофізичних, фотоелектричних, теплофізичних та фотолюмінесцентних властивостей, що дозволяє створювати нові типи напівпровідникових приладів, зокрема, фотоприймачі короткохвильової частини спектру. Метою даної роботи є подальше дослідження технологічних метод керування функціональними властивостями наноструктурованого кремнію із застосуванням нових складів щавників. Formation of nanoporous silicon on monocrystalline silicon wafers changes structural properties that results in forbidden-bandwidth change and quantumdimension effects appearance as well as appearance of new silicon compounds with higher hydrogen and amorphous-silicon contents on the silicon surface. Such a complex structure with new electrophysical, photoelectrical, thermophysical, and photoluminescent properties makes possible new types of semiconductor devices, in particular, light detectors of short-wave spectral range. Goal of this work is to study technological methods for governing by functional properties of nanoporous silicon using new compositions of etching agents. При формировании наноструктурированного кремния на подложках монокристаллического кремния происходит изменение не только структурных свойств, что приводит к изменению ширины запрещенной зоны и проявлению квантово-размерных эффектов, но и к возникновению на поверхности новых соединений кремния с повышенным содержанием водорода и аморфного кремния. Такая сложная структура приводит к проявлению новых электрофизических, фотоэлектрических, теплофизических и фотолюминесцентных свойств, что позволяет создавать новые типы полупровод-никовых приборов, в частности, фотоприемники коротковолновой части спектра. Целью данной работы является дальнейшее изучение технологических методов управления функциональными свойствами наноструктурированного кремния с применением новых составов травителей. 2009 Article Технологічні методи керування властивостями наноструктурованого кремнію / Т.Ю. Білик, О.М. Шмирєва, М.М. Мельниченко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 2. — С. 395-402. — Бібліогр.: 9 назв. — укр. 1816-5230 PACSnumbers:78.55.Mb,78.67.Rb,81.07.Bc,81.40.Tv,81.65.Cf,85.60.Dw,85.60.Gz http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76425 uk Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Ukrainian
description При формуванні наноструктурованого кремнію на підложжях монокристалічного кремнію відбувається зміна не тільки структурних властивостей, що призводить до зміни ширини забороненої зони і прояву квантоворозмірних ефектів, але й утворення на поверхні нових сполук кремнію з підвищеним вмістом водню й аморфного кремнію. Така складна структура обумовлює прояв нових електрофізичних, фотоелектричних, теплофізичних та фотолюмінесцентних властивостей, що дозволяє створювати нові типи напівпровідникових приладів, зокрема, фотоприймачі короткохвильової частини спектру. Метою даної роботи є подальше дослідження технологічних метод керування функціональними властивостями наноструктурованого кремнію із застосуванням нових складів щавників.
format Article
author Білик, Т.Ю.
Шмирєва, О.М.
Мельниченко, М.М.
spellingShingle Білик, Т.Ю.
Шмирєва, О.М.
Мельниченко, М.М.
Технологічні методи керування властивостями наноструктурованого кремнію
Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
author_facet Білик, Т.Ю.
Шмирєва, О.М.
Мельниченко, М.М.
author_sort Білик, Т.Ю.
title Технологічні методи керування властивостями наноструктурованого кремнію
title_short Технологічні методи керування властивостями наноструктурованого кремнію
title_full Технологічні методи керування властивостями наноструктурованого кремнію
title_fullStr Технологічні методи керування властивостями наноструктурованого кремнію
title_full_unstemmed Технологічні методи керування властивостями наноструктурованого кремнію
title_sort технологічні методи керування властивостями наноструктурованого кремнію
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
publishDate 2009
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76425
citation_txt Технологічні методи керування властивостями наноструктурованого кремнію / Т.Ю. Білик, О.М. Шмирєва, М.М. Мельниченко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 2. — С. 395-402. — Бібліогр.: 9 назв. — укр.
series Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
work_keys_str_mv AT bíliktû tehnologíčnímetodikeruvannâvlastivostâminanostrukturovanogokremníû
AT šmirêvaom tehnologíčnímetodikeruvannâvlastivostâminanostrukturovanogokremníû
AT melʹničenkomm tehnologíčnímetodikeruvannâvlastivostâminanostrukturovanogokremníû
first_indexed 2023-10-18T19:12:05Z
last_indexed 2023-10-18T19:12:05Z
_version_ 1796146264334663680