Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au
Встановлено межі впливу сурфактантних підшарів стибію та ґерманію різних товщин на структуру тонких плівок металів у широкому інтервалі товщин. Показано, що сурфактантні підшари, попередньо нанесені на діелектричне підложжя, зменшують середні лінійні розміри кристалітів у осаджених плівках міді та з...
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2009
|
| Назва видання: | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76441 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au / Р.І. Бігун, З.В. Стасюк, А.В. Бородчук, Я.А. Пастирський // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 2. — С. 529-533. — Бібліогр.: 8 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-76441 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-764412015-10-31T21:07:41Z Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au Бігун, Р.І. Стасюк, З.В. Бородчук, А.В. Пастирський, Я.А. Встановлено межі впливу сурфактантних підшарів стибію та ґерманію різних товщин на структуру тонких плівок металів у широкому інтервалі товщин. Показано, що сурфактантні підшари, попередньо нанесені на діелектричне підложжя, зменшують середні лінійні розміри кристалітів у осаджених плівках міді та золота. Виявлено можливість керованого росту та виготовлення тонких плівок металів з наперед заданими властивостями. The effect of Sb and Ge surfactant underlayers of different thicknesses on Cu and Au metal films in a wide range of film thickness is revealed. As shown, the surfactant underlayers predeposited on dielectric substrates cause decrease of average linear sizes of crystallites in deposited Cu and Au films. The possibility of governed fabrication of thin metal films with specified properties is revealed. Установлены пределы влияния сурфактантных подслоев сурьмы и германия различных толщин на структуру тонких пленок металлов в широком диапазоне толщин. Показано, что сурфактантные подслои, предварительно нанесенные на диэлектрическую подложку, уменьшают средние линейные размеры кристаллитов в осажденных пленках меди и золота. Обнаружена возможность управляемого роста и изготовления тонких пленок металлов с предварительно заданными свойствами. 2009 Article Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au / Р.І. Бігун, З.В. Стасюк, А.В. Бородчук, Я.А. Пастирський // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 2. — С. 529-533. — Бібліогр.: 8 назв. — укр. 1816-5230 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76441 PACS numbers: 61.46.Bc, 68.55.A-, 68.55.J-, 81.10.Jt, 81.15.Ef, 81.15.Np uk Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| description |
Встановлено межі впливу сурфактантних підшарів стибію та ґерманію різних товщин на структуру тонких плівок металів у широкому інтервалі товщин. Показано, що сурфактантні підшари, попередньо нанесені на діелектричне підложжя, зменшують середні лінійні розміри кристалітів у осаджених плівках міді та золота. Виявлено можливість керованого росту та
виготовлення тонких плівок металів з наперед заданими властивостями. |
| format |
Article |
| author |
Бігун, Р.І. Стасюк, З.В. Бородчук, А.В. Пастирський, Я.А. |
| spellingShingle |
Бігун, Р.І. Стасюк, З.В. Бородчук, А.В. Пастирський, Я.А. Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| author_facet |
Бігун, Р.І. Стасюк, З.В. Бородчук, А.В. Пастирський, Я.А. |
| author_sort |
Бігун, Р.І. |
| title |
Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au |
| title_short |
Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au |
| title_full |
Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au |
| title_fullStr |
Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au |
| title_full_unstemmed |
Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au |
| title_sort |
вплив сурфактантних підшарів sb та ge на структуру плівок cu і au |
| publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| publishDate |
2009 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76441 |
| citation_txt |
Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок
Cu і Au / Р.І. Бігун, З.В. Стасюк, А.В. Бородчук, Я.А. Пастирський // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 2. — С. 529-533. — Бібліогр.: 8 назв. — укр. |
| series |
Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| work_keys_str_mv |
AT bígunrí vplivsurfaktantnihpídšarívsbtagenastrukturuplívokcuíau AT stasûkzv vplivsurfaktantnihpídšarívsbtagenastrukturuplívokcuíau AT borodčukav vplivsurfaktantnihpídšarívsbtagenastrukturuplívokcuíau AT pastirsʹkijâa vplivsurfaktantnihpídšarívsbtagenastrukturuplívokcuíau |
| first_indexed |
2023-10-18T19:12:08Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:12:08Z |
| _version_ |
1796146265188204544 |