Структурно-фазовые превращения в многослойных периодических композициях W-B4C с периодом 2,5 НМ при нагреве

• Дата: 2011
• Автори: Копылец, И.А., Зубарев, Е.Н., Кондратенко, В.В., Ананьев, К.А.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2011
• Назва видання: Физическая инженерия поверхности
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76538
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Структурно-фазовые превращения в многослойных периодических композициях W-B4C с периодом 2,5 НМ при нагреве / И.А. Копылец, Е.Н. Зубарев, В.В. Кондратенко, К.А. Ананьев // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 2. — С. 182–187. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

В работе рентгеноструктурными и электронномикроскопическими методами изучались изменения в структуре и фазовом составе многослойной пленочной композиции, состоящей из чередующихся слоев W и B4C с толщиной бислоя 2,5 нм, при нагреве в вакууме в диапазоне температур 100 – 1000 °С. Обнаружено, что в многослойном покрытии W-B4C при отжиге происходят следующие фазовые превращения: до 600 °С образуются карбиды вольфрама (прежде всего W3C), свыше 600 °С карбиды замещаются боридами W2B и WB, а при температуре выше 950 °С образуются WB4 и W2B5. Эти превращения сопровождаются объемными измене-ниями: толщина слоев B4C уменьшается, а толщина W-содержащих слоев возрастает так, что при отжиге до 1000 °С доля W-содержащего слоя в периоде увеличивается от 0,38 до 0,51. При этом величина периода до 600 °С увеличивается на 1%, а при дальнейшем нагреве возвращается к приблизительно прежней величине. При 950 – 1000 °С происходит разрушение многослойной структуры.