Структурно-фазовые превращения в многослойных периодических композициях W-B4C с периодом 2,5 НМ при нагреве
В работе рентгеноструктурными и электронномикроскопическими методами изучались изменения в структуре и фазовом составе многослойной пленочной композиции, состоящей из чередующихся слоев W и B4C с толщиной бислоя 2,5 нм, при нагреве в вакууме в диапазоне температур 100 – 1000 °С. Обнаружено, что в мн...
Збережено в:
| Дата: | 2011 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2011
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76538 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Структурно-фазовые превращения в многослойных периодических композициях W-B4C с периодом 2,5 НМ при нагреве / И.А. Копылец, Е.Н. Зубарев, В.В. Кондратенко, К.А. Ананьев // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 2. — С. 182–187. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-76538 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-765382015-02-11T03:03:20Z Структурно-фазовые превращения в многослойных периодических композициях W-B4C с периодом 2,5 НМ при нагреве Копылец, И.А. Зубарев, Е.Н. Кондратенко, В.В. Ананьев, К.А. В работе рентгеноструктурными и электронномикроскопическими методами изучались изменения в структуре и фазовом составе многослойной пленочной композиции, состоящей из чередующихся слоев W и B4C с толщиной бислоя 2,5 нм, при нагреве в вакууме в диапазоне температур 100 – 1000 °С. Обнаружено, что в многослойном покрытии W-B4C при отжиге происходят следующие фазовые превращения: до 600 °С образуются карбиды вольфрама (прежде всего W3C), свыше 600 °С карбиды замещаются боридами W2B и WB, а при температуре выше 950 °С образуются WB4 и W2B5. Эти превращения сопровождаются объемными измене-ниями: толщина слоев B4C уменьшается, а толщина W-содержащих слоев возрастает так, что при отжиге до 1000 °С доля W-содержащего слоя в периоде увеличивается от 0,38 до 0,51. При этом величина периода до 600 °С увеличивается на 1%, а при дальнейшем нагреве возвращается к приблизительно прежней величине. При 950 – 1000 °С происходит разрушение многослойной структуры. У роботі рентгеноструктурними й електронномікроскопічними методами вивчалися зміни в структурі і фазовому складі багатошарової плівкової композиції, яка складалася з почергових шарів W і B4C, з товщиною бішара (періоду) 2,5 нм, при нагріві у вакуумі в діапазоні температур 100 – 1000 °С. Виявлено, що в багатошаровому покритті W-B4C при відпалі відбуваються наступні фазові перетворення: до 600 °С утворюються карбіди вольфраму (передусім W3C), вище 600 °С карбіди заміщаються боридами W2B і WB, а при температурі вище 950 °С утворюються WB4 і W2B5. Ці перетворення супроводжуються об’ємними змінами: товщина шарів B4C зменшується, а товщина шарів, які містять W, зростає так, що при відпалі до 1000 °С доля в періоді шару, що містить W, збільшується від 0,38 до 0,51. При цьому величина періоду до 600 °С збільшується на 1%, а при подальшому нагріві повертається до приблизно колишньої величини. При 950 – 1000 °С відбувається руйнування багатошарової структури. Heating-generated changes of the structure and phase composition of multilayers, consisting of alternating W and B4C layers with the bilayer thickness (period) of 2.5 nm, were studied by X-ray scattering and electron microscopy in the temperature range of 100 – 1000 °С. Phase transformations were found to occur in the W-B4C multilayer coatings as follows: the tungsten carbides (most W3C) formed below 600 °С, above 600 °С the carbides were substituted by the W2B and WB borides, and at a temperature over 950оС WB4 and W2B5 appeared. These transformations were accompanied by volume changes: the thickness of B4C layers decreased, and the thickness of W-containing layers increased. The W-containing layer fraction in the period increased from 0,38 to 0,51 after 1000 °С annealing. The period of the multilayers expanded by 1% after 600 °С annealing, and it went back to its initial value at further heating. Destruction of the multilayer structure happened at 950 – 1000 °С. 2011 Article Структурно-фазовые превращения в многослойных периодических композициях W-B4C с периодом 2,5 НМ при нагреве / И.А. Копылец, Е.Н. Зубарев, В.В. Кондратенко, К.А. Ананьев // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 2. — С. 182–187. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76538 539.216.2: 536.42 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
В работе рентгеноструктурными и электронномикроскопическими методами изучались изменения в структуре и фазовом составе многослойной пленочной композиции, состоящей из чередующихся слоев W и B4C с толщиной бислоя 2,5 нм, при нагреве в вакууме в диапазоне температур 100 – 1000 °С. Обнаружено, что в многослойном покрытии W-B4C при отжиге происходят следующие фазовые превращения: до 600 °С образуются карбиды вольфрама (прежде всего W3C), свыше 600 °С карбиды замещаются боридами W2B и WB, а при температуре выше 950 °С образуются WB4 и W2B5. Эти превращения сопровождаются объемными измене-ниями: толщина слоев B4C уменьшается, а толщина W-содержащих слоев возрастает так, что при отжиге до 1000 °С доля W-содержащего слоя в периоде увеличивается от 0,38 до 0,51. При этом величина периода до 600 °С увеличивается на 1%, а при дальнейшем нагреве возвращается к приблизительно прежней величине. При 950 – 1000 °С происходит разрушение многослойной
структуры. |
| format |
Article |
| author |
Копылец, И.А. Зубарев, Е.Н. Кондратенко, В.В. Ананьев, К.А. |
| spellingShingle |
Копылец, И.А. Зубарев, Е.Н. Кондратенко, В.В. Ананьев, К.А. Структурно-фазовые превращения в многослойных периодических композициях W-B4C с периодом 2,5 НМ при нагреве Физическая инженерия поверхности |
| author_facet |
Копылец, И.А. Зубарев, Е.Н. Кондратенко, В.В. Ананьев, К.А. |
| author_sort |
Копылец, И.А. |
| title |
Структурно-фазовые превращения в многослойных периодических композициях W-B4C с периодом 2,5 НМ при нагреве |
| title_short |
Структурно-фазовые превращения в многослойных периодических композициях W-B4C с периодом 2,5 НМ при нагреве |
| title_full |
Структурно-фазовые превращения в многослойных периодических композициях W-B4C с периодом 2,5 НМ при нагреве |
| title_fullStr |
Структурно-фазовые превращения в многослойных периодических композициях W-B4C с периодом 2,5 НМ при нагреве |
| title_full_unstemmed |
Структурно-фазовые превращения в многослойных периодических композициях W-B4C с периодом 2,5 НМ при нагреве |
| title_sort |
структурно-фазовые превращения в многослойных периодических композициях w-b4c с периодом 2,5 нм при нагреве |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2011 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76538 |
| citation_txt |
Структурно-фазовые превращения в многослойных периодических композициях W-B4C с периодом 2,5 НМ при нагреве / И.А. Копылец, Е.Н. Зубарев, В.В. Кондратенко, К.А. Ананьев // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 2. — С. 182–187. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
| series |
Физическая инженерия поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT kopylecia strukturnofazovyeprevraŝeniâvmnogoslojnyhperiodičeskihkompoziciâhwb4csperiodom25nmprinagreve AT zubareven strukturnofazovyeprevraŝeniâvmnogoslojnyhperiodičeskihkompoziciâhwb4csperiodom25nmprinagreve AT kondratenkovv strukturnofazovyeprevraŝeniâvmnogoslojnyhperiodičeskihkompoziciâhwb4csperiodom25nmprinagreve AT ananʹevka strukturnofazovyeprevraŝeniâvmnogoslojnyhperiodičeskihkompoziciâhwb4csperiodom25nmprinagreve |
| first_indexed |
2023-10-18T19:12:10Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:12:10Z |
| _version_ |
1796146276622925824 |