Эрозия вакуумно-дуговых TiN покрытий и нержавеющей стали при воздействии стационарной плазмы разрядов магнетронного типа

• Main Authors: Глазунов, Г.П., Андреев, А.А., Бондаренко, М.Н., Конотопский, А.Л., Моисеенко, В.Е., Столбовой, В.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2011
• Series: Физическая инженерия поверхности
• Online Access: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76899

Исследован процесс эрозии TiN покрытий, полученных вакуумно-дуговым методом с использованием разных технологических приемов: при подаче высоковольтных импульсов отрицательной полярности на подложку и без таковых, при различных давлениях рабочего газа (азота). Для сравнения измерены также эрозионные характеристики нержавеющей стали (SS). Скорости эрозии измерялись методом взвешивания на аналитических весах до и после плазменной обработки в атмосфере азота и воздуха при температурах 500 – 1000 °С. Показано, что абсолютные величины коэффициентов распыления для обоих видов TiN-покрытий примерно в два-три раза ниже, чем для нержавеющей стали и слабо зависят от температуры. Скорость эрозии TiN-покрытий, осажденных при более низких давлениях (~2⋅10⁻³ Торр) существенно ниже, чем для покрытий напыленных при более высоких давлениях азота (5⋅10⁻³ Торр). Показано, что абсолютные величины скорости эрозии (распыления) в воздушной плазме образцов TiN и SS более чем в два раза ниже значений эрозии для образцов, подвергнутых обработке азотной плазмой. В тоже время скорости газовыделения примесей в вакууме для таких образцов возрастали примерно в два раза. Обсуждаются возможные физические механизмы для объяснения такого характера поведения эрозии и газовыделения в вакууме.