Эрозия вакуумно-дуговых TiN покрытий и нержавеющей стали при воздействии стационарной плазмы разрядов магнетронного типа
Исследован процесс эрозии TiN покрытий, полученных вакуумно-дуговым методом с использованием разных технологических приемов: при подаче высоковольтных импульсов отрицательной полярности на подложку и без таковых, при различных давлениях рабочего газа (азота). Для сравнения измерены также эрозионные...
Збережено в:
Видавець: | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
---|---|
Дата: | 2011 |
Автори: | , , , , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2011
|
Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76899 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Цитувати: | Эрозия вакуумно-дуговых TiN покрытий и нержавеющей стали при воздействии стационарной плазмы разрядов магнетронного типа / Г.П. Глазунов, А.А. Андреев, М.Н. Бондаренко, А.Л. Конотопский, В.Е. Моисеенко, В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 3. — С. 250–255. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineРезюме: | Исследован процесс эрозии TiN покрытий, полученных вакуумно-дуговым методом с использованием разных технологических приемов: при подаче высоковольтных импульсов отрицательной полярности на подложку и без таковых, при различных давлениях рабочего газа (азота). Для сравнения измерены также эрозионные характеристики нержавеющей стали (SS). Скорости эрозии измерялись методом взвешивания на аналитических весах до и после плазменной обработки в атмосфере азота и воздуха при температурах 500 – 1000 °С. Показано, что абсолютные величины коэффициентов распыления для обоих видов TiN-покрытий примерно в два-три раза ниже, чем для нержавеющей стали и слабо зависят от температуры. Скорость эрозии TiN-покрытий, осажденных при более низких давлениях (~2⋅10⁻³ Торр) существенно ниже, чем для покрытий напыленных при более высоких давлениях азота (5⋅10⁻³ Торр). Показано, что абсолютные величины скорости эрозии (распыления) в воздушной плазме образцов TiN и SS более чем в два раза ниже значений эрозии для образцов, подвергнутых обработке азотной плазмой. В тоже время скорости газовыделения примесей в вакууме для таких образцов возрастали примерно в два раза. Обсуждаются возможные физические механизмы для объяснения такого характера поведения эрозии и газовыделения в вакууме. |
---|