Нанесение покрытий на сложнопрофильные прецизионные поверхности газофазным методом (CVD)

Разработан процесс нанесения покрытий Мо-С покрытий методом газофазного осаждения с использованием металлорганических соединений. Описаны конструктивные особенности установки для пиролиза металлорганических соединений (карбонилы хрома, молибдена, вольфрама, соединения на основе алюминия), а также ле...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2011
Автори:	Сагалович, А.В., Григорьев, А.В., Кононыхин, А.В., Попов, В.В., Сагалович, В.В.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2011
Назва видання:	Физическая инженерия поверхности
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76903
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Нанесение покрытий на сложнопрофильные прецизионные поверхности газофазным методом (CVD) / А.В. Сагалович, А.В. Григорьев, А.В. Кононыхин, В.В. Попов, В.В. Сагалович // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 3. — С. 229–236. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-76903
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-769032015-02-14T03:01:34Z Нанесение покрытий на сложнопрофильные прецизионные поверхности газофазным методом (CVD) Сагалович, А.В. Григорьев, А.В. Кононыхин, А.В. Попов, В.В. Сагалович, В.В. Разработан процесс нанесения покрытий Мо-С покрытий методом газофазного осаждения с использованием металлорганических соединений. Описаны конструктивные особенности установки для пиролиза металлорганических соединений (карбонилы хрома, молибдена, вольфрама, соединения на основе алюминия), а также летучих органических соединений (бензол, толуол). Покрытия наносились на термообработанные стали технического назначения Х12Ф1 и 25Х2МФ (ЭИ10) с высоким классом чистоты обработки поверхности (>10). Средняя скорость нанесения покрытия – 50 μм/час. Определены оптимальные условия осаждения для различных использованных технологических схем. Проведены металлографические исследования полученных покрытий. Розроблений процес нанесення покриттів методом газофазного осадження з використанням металорганічних сполук. Описані конструктивні особливості обладнання для піролізу металорганічних сполук (карбоніли хрому, молібдену, вольфраму, сполук на основі алюмінію), а також летючих органічних сполук (бензол, толуол). Покриття наносили на термооброблені сталі технічного призначення Х12Ф1 та 25Х2МФ (ЭИ10) з високим класом чистоти обробки поверхні (>10). Середня швидкість нанесення покриття – 50 μм/год. Визначені оптимальні умови осадження для різних використаних технологічних схем. Проведені металографічні дослідження отриманих покриттів. Production processes of multi-layered Mo-C coatings by the method of chemical vapor deposition (CVD) with the use of organometallic compounds were developed. Construction features of equipment for pyrolisys of metallorganic compounds (chromium, molybdenum, tungsten carbonyls and volatile aluminum containing compounds) and volatile organic compounds (benzole toluene) were described. Coatings are applied on technical purpose steel Х12Ф1 (DIN 1.2379) and 25Х2МФ (ЭИ10) (DIN 21 CrMoV 5-7) heat-treated ball with the high class of surface roughness (>10). The average deposition rate was 50 μм/h. The optimal conditions of coatings deposition for different technological schemas were defined. Metallographic investigations of the obtained coatings were carried out. 2011 Article Нанесение покрытий на сложнопрофильные прецизионные поверхности газофазным методом (CVD) / А.В. Сагалович, А.В. Григорьев, А.В. Кононыхин, В.В. Попов, В.В. Сагалович // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 3. — С. 229–236. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76903 621.793.7 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
description	Разработан процесс нанесения покрытий Мо-С покрытий методом газофазного осаждения с использованием металлорганических соединений. Описаны конструктивные особенности установки для пиролиза металлорганических соединений (карбонилы хрома, молибдена, вольфрама, соединения на основе алюминия), а также летучих органических соединений (бензол, толуол). Покрытия наносились на термообработанные стали технического назначения Х12Ф1 и 25Х2МФ (ЭИ10) с высоким классом чистоты обработки поверхности (>10). Средняя скорость нанесения покрытия – 50 μм/час. Определены оптимальные условия осаждения для различных использованных технологических схем. Проведены металлографические исследования полученных покрытий.
format	Article
author	Сагалович, А.В. Григорьев, А.В. Кононыхин, А.В. Попов, В.В. Сагалович, В.В.
spellingShingle	Сагалович, А.В. Григорьев, А.В. Кононыхин, А.В. Попов, В.В. Сагалович, В.В. Нанесение покрытий на сложнопрофильные прецизионные поверхности газофазным методом (CVD) Физическая инженерия поверхности
author_facet	Сагалович, А.В. Григорьев, А.В. Кононыхин, А.В. Попов, В.В. Сагалович, В.В.
author_sort	Сагалович, А.В.
title	Нанесение покрытий на сложнопрофильные прецизионные поверхности газофазным методом (CVD)
title_short	Нанесение покрытий на сложнопрофильные прецизионные поверхности газофазным методом (CVD)
title_full	Нанесение покрытий на сложнопрофильные прецизионные поверхности газофазным методом (CVD)
title_fullStr	Нанесение покрытий на сложнопрофильные прецизионные поверхности газофазным методом (CVD)
title_full_unstemmed	Нанесение покрытий на сложнопрофильные прецизионные поверхности газофазным методом (CVD)
title_sort	нанесение покрытий на сложнопрофильные прецизионные поверхности газофазным методом (cvd)
publisher	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate	2011
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76903
citation_txt	Нанесение покрытий на сложнопрофильные прецизионные поверхности газофазным методом (CVD) / А.В. Сагалович, А.В. Григорьев, А.В. Кононыхин, В.В. Попов, В.В. Сагалович // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 3. — С. 229–236. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
series	Физическая инженерия поверхности
work_keys_str_mv	AT sagalovičav naneseniepokrytijnasložnoprofilʹnyeprecizionnyepoverhnostigazofaznymmetodomcvd AT grigorʹevav naneseniepokrytijnasložnoprofilʹnyeprecizionnyepoverhnostigazofaznymmetodomcvd AT kononyhinav naneseniepokrytijnasložnoprofilʹnyeprecizionnyepoverhnostigazofaznymmetodomcvd AT popovvv naneseniepokrytijnasložnoprofilʹnyeprecizionnyepoverhnostigazofaznymmetodomcvd AT sagalovičvv naneseniepokrytijnasložnoprofilʹnyeprecizionnyepoverhnostigazofaznymmetodomcvd
first_indexed	2023-10-18T19:12:44Z
last_indexed	2023-10-18T19:12:44Z
_version_	1796146304615710720

Нанесение покрытий на сложнопрофильные прецизионные поверхности газофазным методом (CVD)

Репозитарії

Схожі ресурси