Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы

Предложена математическая модель, учитывающая влияние лазерного излучения на распре¬деление температуры и формирование осадка тугоплавкого металла на диэлектрическую под¬ложку при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы. Модель учитывает параметры лазерного излучения для получения поверхност...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Видавець:Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Дата:2011
Автори: Величко, И.Г., Недоля, А.В., Титов, И.Н.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2011
Назва видання:Физическая инженерия поверхности
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76954
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Цитувати:Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы / И.Г. Величко, А.В. Недоля, И.Н. Титов // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 4. — С. 363–368. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-76954
record_format dspace
spelling irk-123456789-769542015-02-15T03:02:18Z Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы Величко, И.Г. Недоля, А.В. Титов, И.Н. Предложена математическая модель, учитывающая влияние лазерного излучения на распре¬деление температуры и формирование осадка тугоплавкого металла на диэлектрическую под¬ложку при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы. Модель учитывает параметры лазерного излучения для получения поверхностных структур с наперед заданными размерами и формой. Запропонована математична модель, яка враховує вплив лазерного випромінювання на розподіл температури і формування осаду тугоплавкого металу на діелектричну підкладку при лазерно- індукованому піролізі з парової фази. Модель враховує параметри лазерного випромінювання для отримання поверхневих структур з наперед установленими розмірами і формою. The mathematical model, which considers the effect of the laser radiation on the temperature dist¬ribution and shaping of sediment of refractory metal on dielectric substrate by pyrolysis LCVD is proposed. The model takes into account the parameters of laser radiation for obtaining surface structures with predetermined size and shape. 2011 Article Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы / И.Г. Величко, А.В. Недоля, И.Н. Титов // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 4. — С. 363–368. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76954 535-1:519.8:66.092-977 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
description Предложена математическая модель, учитывающая влияние лазерного излучения на распре¬деление температуры и формирование осадка тугоплавкого металла на диэлектрическую под¬ложку при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы. Модель учитывает параметры лазерного излучения для получения поверхностных структур с наперед заданными размерами и формой.
format Article
author Величко, И.Г.
Недоля, А.В.
Титов, И.Н.
spellingShingle Величко, И.Г.
Недоля, А.В.
Титов, И.Н.
Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы
Физическая инженерия поверхности
author_facet Величко, И.Г.
Недоля, А.В.
Титов, И.Н.
author_sort Величко, И.Г.
title Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы
title_short Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы
title_full Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы
title_fullStr Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы
title_full_unstemmed Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы
title_sort влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate 2011
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76954
citation_txt Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы / И.Г. Величко, А.В. Недоля, И.Н. Титов // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 4. — С. 363–368. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.
series Физическая инженерия поверхности
work_keys_str_mv AT veličkoig vliânieparametrovlazernogoizlučeniânaobrazovaniemetalličeskogomikroosadkaprilazernoinducirovannompirolizeizparovojfazy
AT nedolâav vliânieparametrovlazernogoizlučeniânaobrazovaniemetalličeskogomikroosadkaprilazernoinducirovannompirolizeizparovojfazy
AT titovin vliânieparametrovlazernogoizlučeniânaobrazovaniemetalličeskogomikroosadkaprilazernoinducirovannompirolizeizparovojfazy
first_indexed 2023-10-18T19:13:10Z
last_indexed 2023-10-18T19:13:10Z
_version_ 1796146320372662272