Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы
Предложена математическая модель, учитывающая влияние лазерного излучения на распре¬деление температуры и формирование осадка тугоплавкого металла на диэлектрическую под¬ложку при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы. Модель учитывает параметры лазерного излучения для получения поверхност...
Збережено в:
| Дата: | 2011 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2011
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76954 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы / И.Г. Величко, А.В. Недоля, И.Н. Титов // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 4. — С. 363–368. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-76954 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-769542015-02-15T03:02:18Z Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы Величко, И.Г. Недоля, А.В. Титов, И.Н. Предложена математическая модель, учитывающая влияние лазерного излучения на распре¬деление температуры и формирование осадка тугоплавкого металла на диэлектрическую под¬ложку при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы. Модель учитывает параметры лазерного излучения для получения поверхностных структур с наперед заданными размерами и формой. Запропонована математична модель, яка враховує вплив лазерного випромінювання на розподіл температури і формування осаду тугоплавкого металу на діелектричну підкладку при лазерно- індукованому піролізі з парової фази. Модель враховує параметри лазерного випромінювання для отримання поверхневих структур з наперед установленими розмірами і формою. The mathematical model, which considers the effect of the laser radiation on the temperature dist¬ribution and shaping of sediment of refractory metal on dielectric substrate by pyrolysis LCVD is proposed. The model takes into account the parameters of laser radiation for obtaining surface structures with predetermined size and shape. 2011 Article Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы / И.Г. Величко, А.В. Недоля, И.Н. Титов // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 4. — С. 363–368. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76954 535-1:519.8:66.092-977 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Предложена математическая модель, учитывающая влияние лазерного излучения на распре¬деление температуры и формирование осадка тугоплавкого металла на диэлектрическую под¬ложку при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы. Модель учитывает параметры лазерного излучения для получения поверхностных структур с наперед заданными размерами и формой. |
| format |
Article |
| author |
Величко, И.Г. Недоля, А.В. Титов, И.Н. |
| spellingShingle |
Величко, И.Г. Недоля, А.В. Титов, И.Н. Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы Физическая инженерия поверхности |
| author_facet |
Величко, И.Г. Недоля, А.В. Титов, И.Н. |
| author_sort |
Величко, И.Г. |
| title |
Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы |
| title_short |
Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы |
| title_full |
Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы |
| title_fullStr |
Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы |
| title_full_unstemmed |
Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы |
| title_sort |
влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2011 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76954 |
| citation_txt |
Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы / И.Г. Величко, А.В. Недоля, И.Н. Титов // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 4. — С. 363–368. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
| series |
Физическая инженерия поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT veličkoig vliânieparametrovlazernogoizlučeniânaobrazovaniemetalličeskogomikroosadkaprilazernoinducirovannompirolizeizparovojfazy AT nedolâav vliânieparametrovlazernogoizlučeniânaobrazovaniemetalličeskogomikroosadkaprilazernoinducirovannompirolizeizparovojfazy AT titovin vliânieparametrovlazernogoizlučeniânaobrazovaniemetalličeskogomikroosadkaprilazernoinducirovannompirolizeizparovojfazy |
| first_indexed |
2023-10-18T19:13:10Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:13:10Z |
| _version_ |
1796146320372662272 |