Исследование характеристик покрытий, синтезированных с помощью источника газовой плазмы

• Дата: 2011
• Автори: Белоус, В.А., Лунев, В.М., Носов, Г.И., Толмачева, Г.Н.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2011
• Назва видання: Физическая инженерия поверхности
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76995
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Исследование характеристик покрытий, синтезированных с помощью источника газовой плазмы / В.А. Белоус, В.М. Лунев, Г.И. Носов, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 4. — С. 332–338. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Проведены исследования характеристик Ti и TiN покрытий, полученных путем распыления мишени ионами, экстрагируемыми из источника газовой плазмы (ИГП). Показано, что такие покрытия, в отличие от вакуумно-дуговых, не содержат капель. Шероховатость покрытий из титана, синтезированных с помощью источника газовой плазмы, составляла 0,1 мкм, а вакуумно-дуговых – 0,6 мкм. Микротвердость покрытий из TiN достигала значений 33 ГПа. Плотность сквозных пор для покрытий, осажденных распылением мишени, в несколько раз ниже по сравнению с вакуумно-дуговыми покрытиями. С увеличением угла наклона мишени относительно оси ИГП от 0 до 60° скорость осаждения Ti покрытий возрастала примерно в два раза (от 2,5 до 5 мкм/ч). При осаждении покрытий с помощью ИГП обеспечивалось более эффективное использование распыляемого материала в сравнении с вакуумно-дуговым методом.