Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления
Исследовались кристаллическая структура, электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных при температурах подложки от 200 до 500°С путем прямоточного нереактивного магнетронного распыления механической смеси содержащей 95 мас.% In₂O₃ и 5 мас.% SnO₂. Пленки ITO, осажденные при температуре...
Збережено в:
| Дата: | 2000 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2000
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/78241 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления / Г.В. Юрченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 5. — С. 97-98. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-78241 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-782412015-03-14T03:01:27Z Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления Юрченко, Г.В. Пленочные материалы и покрытия Исследовались кристаллическая структура, электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных при температурах подложки от 200 до 500°С путем прямоточного нереактивного магнетронного распыления механической смеси содержащей 95 мас.% In₂O₃ и 5 мас.% SnO₂. Пленки ITO, осажденные при температуре подложки 300°С, текстурированы в направлении [400] и имеют минимальный уровень микродеформаций и обладают оптимальным сочетанием оптических и электрических свойств. 2000 Article Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления / Г.В. Юрченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 5. — С. 97-98. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/78241 537. 221:537.221 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Пленочные материалы и покрытия Пленочные материалы и покрытия |
| spellingShingle |
Пленочные материалы и покрытия Пленочные материалы и покрытия Юрченко, Г.В. Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления Вопросы атомной науки и техники |
| description |
Исследовались кристаллическая структура, электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных при температурах подложки от 200 до 500°С путем прямоточного нереактивного магнетронного распыления механической смеси содержащей 95 мас.% In₂O₃ и 5 мас.% SnO₂. Пленки ITO, осажденные при температуре подложки 300°С, текстурированы в направлении [400] и имеют минимальный уровень микродеформаций и обладают оптимальным сочетанием оптических и электрических свойств. |
| format |
Article |
| author |
Юрченко, Г.В. |
| author_facet |
Юрченко, Г.В. |
| author_sort |
Юрченко, Г.В. |
| title |
Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления |
| title_short |
Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления |
| title_full |
Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления |
| title_fullStr |
Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления |
| title_full_unstemmed |
Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления |
| title_sort |
электрические и оптические свойства пленок ito, полученных методом магнетронного распыления |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2000 |
| topic_facet |
Пленочные материалы и покрытия |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/78241 |
| citation_txt |
Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления / Г.В. Юрченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 5. — С. 97-98. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT ûrčenkogv élektričeskieioptičeskiesvojstvaplenokitopolučennyhmetodommagnetronnogoraspyleniâ |
| first_indexed |
2023-10-18T19:16:00Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:16:00Z |
| _version_ |
1796146448956391424 |